[發明專利]金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器無效
| 申請號： | 201210035493.3 | 申請日： | 2012-02-17 |
| 公開（公告）號： | CN103255390A | 公開（公告）日： | 2013-08-21 |
| 發明（設計）人： | 都業志;李玉花 | 申請（專利權）人： | 蘇州艾默特材料技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/44 | 分類號： | C23C16/44;C23C16/46;C23C16/448 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省昆山*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 有機化合物 化學 沉積 加熱器 | ||
【權利要求書】：
1.金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器，其特征在于：包括支座(4)，所述支座(4)上設有絕緣層(3)，所述絕緣層(3)上設置有若干支架(2)，所述支架(2)上連接有加熱體(1)。
2.根據權利要求1所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器，其特征在于：所述加熱體(1)由若干根加熱絲(101)并排組成。
3.根據權利要求1所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器，其特征在于：所述加熱體(1)彎曲成螺旋線或漸開線狀。
4.根據權利要求1所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器，其特征在于：所述加熱體(1)彎曲成三相加熱所需的形狀。
5.根據權利要求1所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器，其特征在于：所述加熱體(1)彎曲成單相加熱所需的形狀。
6.根據權利要求2所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器，其特征在于：所述加熱絲(101)截面為矩形，每邊長度為1-3mm。
7.根據權利要求1所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器，其特征在于：所述支座(4)為難熔金屬。
8.根據權利要求2所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器，其特征在于：所述加熱絲(101)材質為鎢。
9.根據權利要求2所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器，其特征在于：所述加熱絲(101)材質為鎢錸合金。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
