[發明專利]金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器制作方法

無效

• 申請號: 201210035486.3
• 申請日: 2012-02-17
• 公開（公告）號: CN103255394A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 都業志;李玉花
• 申請（專利權）人: 蘇州艾默特材料技術有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一，將并排的加熱絲在加熱狀態下，嵌入一事先加工好的模具的槽內，模具上開槽的圖形與和尺寸與加熱絲的最終排布相匹配，模具的槽深比加熱絲的截面高度小0.2-0.5mm；

步驟二，將嵌入槽中的加熱絲和模具一起放置在氫氣氣氛保護或者真空加熱爐中加熱，使加熱絲的形狀固定；

步驟三，將定型的加熱絲和模具一起，放置在平面磨削設備上對加熱體進行磨削加工，將排布好的加熱絲的高點去除，獲得平面度良好的加熱體；

步驟四，從模具中取出排布好的加熱絲，清洗干凈，去除殘留的切削液、雜質和氧化皮；

步驟五，將清洗干凈的排布好的加熱絲與電極、支撐件連接，獲得完整的加熱器。

2.根據權利要求1所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器制作方法，其特征在于：所述加熱絲單邊長度為1-3mm。

3.根據權利要求1所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器制作方法，其特征在于：步驟二中的加熱溫度為900℃-1100℃。

4.根據權利要求1所述的金屬有機化合物化學氣相沉積加熱器制作方法，其特征在于：所述加熱絲采用鎢、鎢合金、錸金屬絲。