[發明專利]波長可變干涉濾波器、光模塊以及光分析設備

有效

• 申請號: 201210034461.1
• 申請日: 2012-02-15
• 公開（公告）號: CN102645741B
• 公開（公告）日: 2016-11-23
• 發明（設計）人: 佐野朗;廣久保望
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G01J3/02
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，包括：

第一基板；

與所述第一基板彼此相對的第二基板；

設置在所述第一基板的與所述第二基板相對的面上的第一反射膜；

設置在所述第二基板上、隔著規定的間隙與所述第一反射膜相對的第二反射膜；

設置在所述第一基板的與所述第二基板相對的面上的第一電極；以及

設置在所述第二基板上、與所述第一電極相對的第二電極，

所述第一基板包括形成有所述第一電極的一部分的第一電極面，

所述第二基板包括形成有所述第二電極的一部分的第二電極面，

所述第一電極面上的第一電極通過接觸所述第二電極面上的第二電極而彼此電連接。

2.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，所述第二基板的設置所述第二電極面的部位是在所述第二基板的厚度方向上具有可撓曲性的可撓曲部。

3.根據權利要求2所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述第一基板和所述第二基板通過接合膜彼此接合，

所述第一電極面上的所述第一電極的厚度尺寸與所述第二電極面上的所述第二電極的厚度尺寸之和大于所述接合膜的厚度尺寸。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述第一基板包括設置于與所述第二基板相對的面上的第一接合面，

所述第二基板包括與所述第一接合面相對、通過接合膜與所述第一接合面接合的第二接合面，

所述第一電極面和所述第一接合面設置在同一平面上，

所述第二電極面和所述第二接合面設置在同一平面上。

5.一種光模塊，其特征在于，包括：

根據權利要求1至4中任一項所述的波長可變干涉濾波器；以及

接收透過了所述波長可變干涉濾波器的檢查對象光的光接收部。

6.根據權利要求5所述的光模塊，其特征在于，

所述光模塊包括將所述第一電極面和所述第二電極面向彼此接近的方向按壓的按壓部。

7.根據權利要求6所述的光模塊，其特征在于，

所述光模塊包括收納所述波長可變干涉濾波器的收納箱體，

所述按壓部設置在所述收納箱體中。

8.一種光分析設備，其特征在于，包括：

根據權利要求5至7中任一項所述的光模塊；以及

基于所述光模塊的所述光接收部接收的光來分析所述檢查對象光的光特性的分析處理部。