[發明專利]感光樹脂及其制備方法與應用

有效

• 申請號: 201210034258.4
• 申請日: 2012-02-15
• 公開（公告）號: CN102702406A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 劉陸;薛建設
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C08F120/14
• 分類號: C08F120/14;C08F8/30;G03F7/039
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;於毓楨

1.一種感光樹脂，包括如下所示的化合物：

其中R為：

或者

其中R₂，R₃為H、鹵素、C₁-C₄烷基、N，N-二甲胺基、N，N-二乙胺基、環己基、甲氧基或乙氧基；x+y＝100，x為0-99之間整數和y為1-100之間的整數。

2.根據權利要求1所述的感光樹脂，其特征在于所述y為大于等于10且小于等于90的整數、大于等于35且小于等于80的整數或大于等于35且小于等于40的整數。

3.權利要求1或2所述的感光樹脂的制備方法，包括如下步驟：

使聚甲基丙烯酸甲酯和芳基乙酮在強堿和有機溶劑存在條件下反應，獲得芳基取代的1，3-二酮產物；

使所述芳基取代的1，3-二酮產物與疊氮在有機溶劑中反應，獲得感光樹脂。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于所述芳基乙酮為苯乙酮、對甲基苯乙酮、對甲氧基苯乙酮、對N，N-二甲胺基苯乙酮或萘乙酮。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于所述有機溶劑為甲苯、四氫呋喃、二氯甲烷、氯仿、二硫化碳或乙腈。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于所述疊氮為對甲基苯磺酰疊氮或者對乙酰胺基苯磺酰疊氮。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于所述強堿為甲醇鈉、乙醇鈉或氫化鈉。

8.權利要求1或2所述的感光樹脂在制備光致抗蝕劑中的應用。

9.一種正性光致抗蝕劑，包含權利要求1或2所述的感光樹脂。

10.根據權利要求9所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于還包括選自丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇單甲醚、丙二醇甲醚、丁酮和環己酮中的一種或兩種溶劑。