[發明專利]光學部件、其制造方法以及使用其的光學系統有效
| 申請號： | 201210033810.8 | 申請日： | 2012-02-15 |
| 公開（公告）號： | CN102645681A | 公開（公告）日： | 2012-08-22 |
| 發明（設計）人： | 酒井明;槇野憲治 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G02B1/02 | 分類號： | G02B1/02;G02B1/10;B32B9/04;B32B3/26;C23C14/08;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 部件 制造 方法 以及 使用 光學系統 | ||
1.光學部件，包括：
中間層；和
在該中間層上層疊的氧化鋁層，該氧化鋁層有具有由氧化鋁晶體制成的不規則結構的表面，其中
該中間層包括空隙。
2.根據權利要求1的光學部件，其中該中間層的空隙率為1％-50％。
3.光學部件，包括：
基材；
中間層；和
在該中間層上層疊的氧化鋁層，該氧化鋁層有具有由氧化鋁晶體制成的不規則結構的表面，其中
該中間層包括相對于該基材的表面垂直或傾斜的多個柱狀結構體，并且
該中間層在該多個柱狀結構體之間包括空隙。
4.光學部件的制造方法，該光學部件包括基材、中間層和在該中間層上層疊的氧化鋁層，該氧化鋁層有具有由氧化鋁晶體制成的不規則結構的表面，
該方法包括：
在非活性氣體氣氛中在該基材上沉積蒸鍍材料以形成該中間層；和
在該中間層上形成含有鋁的膜，并且對該膜進行熱水處理以在該膜的表面上形成氧化鋁層，該氧化鋁層具有由氧化鋁晶體制成的不規則結構。
5.光學部件的制造方法，該光學部件包括基材、中間層和在該中間層上層疊的氧化鋁層，該氧化鋁層有具有由氧化鋁晶體制成的不規則結構的表面，
該方法包括：
進行在相對于該基材的表面傾斜的方向上在該基材上沉積蒸鍍材料的傾斜沉積以形成該中間層；和
在該中間層上形成含有鋁的膜，并且對該膜進行熱水處理以在該膜的表面上形成氧化鋁層，該氧化鋁層具有由氧化鋁晶體制成的不規則結構。
6.根據權利要求5的光學部件的制造方法，其中該基材的法線與氣相沉積方向之間形成的沉積角度θ小于80°來進行該傾斜沉積。
7.根據權利要求5的光學部件的制造方法，其中該傾斜沉積包括在該基材的表面上沉積主要組分為SiO2的蒸鍍材料。
8.光學系統，其使用根據權利要求1的光學部件。
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