[發明專利]固態成像器件及其制造方法以及電子裝置

在審

• 申請號: 201210033393.7
• 申請日: 2012-02-15
• 公開（公告）號: CN102647564A
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發明（設計）人: 高地泰三
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: H04N5/335
• 分類號: H04N5/335;H04N5/225;H01L27/146;G02B5/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 曲瑩

1.一種固態成像器件，包括：

在透明基板上形成有濾光器層的光學濾光器；

固態成像部件，配置成與所述光學濾光器相對，并且其中在半導體基板的像素區域中排列有接收經由所述濾光器層入射的光的多個像素；和

粘結層，設置在所述光學濾光器與所述固態成像部件之間，并將所述光學濾光器與所述固態成像部件粘貼在一起，其中

所述濾光器層是由具有高折射率的多個介電層和具有低折射率的多個介電層交替地層疊而成的介電多層膜，并且形成為在所述透明基板的與所述固態成像部件相對的一側的表面上，覆蓋與所述像素區域相對應的部分以及覆蓋圍繞所述像素區域定位的區域的一部分，并且

所述粘結層設置成在所述固態成像部件和所述光學濾光器的彼此相對的表面的周緣部分中，至少與所述透明基板上未被所述濾光器層覆蓋的部分以及所述濾光器層的周緣部分發生接觸。

2.如權利要求1所述的固態成像器件，其中，

在彼此相對的所述光學濾光器與所述固態成像部件之間設置有空腔部，

在所述固態成像部件中，所述像素區域設置成使得所述像素接收經由所述空腔部入射的光，并且

所述粘結層設置成在彼此相對的所述光學濾光器與所述固態成像部件之間圍繞所述空腔部的周緣。

3.如權利要求1所述的固態成像器件，其中，所述粘結層設置在所述光學濾光器和所述固態成像部件的彼此相對的整個表面上。

4.如權利要求2所述的固態成像器件，其中，

所述濾光器層的側端面發生傾斜，以使寬度從透明基板側朝固態成像部件側減小，并且

所述粘結層設置成覆蓋所述濾光器層的傾斜的側端面。

5.一種固態成像器件的制造方法，包括以下步驟：

通過在透明基板上形成濾光器層來形成光學濾光器；

通過在半導體基板的像素區域中設置接收光的多個像素來形成固態成像部件；

通過在彼此相對的所述光學濾光器與所述固態成像部件之間設置粘結層來將所述光學濾光器與所述固態成像部件粘貼在一起，以使所述像素接收經由所述濾光器層入射的光，其中

在形成光學濾光器的步驟中，通過將由具有高折射率的多個介電層和具有低折射率的多個介電層交替地層疊而成的介電多層膜設置成在所述透明基板的與所述固態成像部件相對的一側的表面上覆蓋與所述像素區域相對應的部分以及覆蓋圍繞所述像素區域定位的區域的一部分，來形成所述濾光器層，并且

在將所述光學濾光器與所述固態成像部件粘貼在一起的步驟中，通過將所述粘結層設置成在所述透明基板上的與所述半導體基板相對的表面的周緣部分中，至少與未被所述濾光器層覆蓋的部分以及所述濾光器層的周緣部分發生接觸，來將所述光學濾光器與所述固態成像部件粘貼在一起。

6.如權利要求5所述的固態成像器件的制造方法，其中，

在形成光學濾光器的步驟中，在所述透明基板上形成多個光學濾光器，

在形成固態成像部件的步驟中，在所述半導體基板上形成多個固態成像部件，

在將所述光學濾光器與所述固態成像部件粘貼在一起的步驟中，將所述透明基板與所述半導體基板對齊并粘貼在一起，以使所述多個光學濾光器中的每一個與所述多個固態成像部件中的每一個彼此對應，并且

對粘貼在一起的所述透明基板和所述半導體基板實施切制加工，以將所述透明基板和所述半導體基板分割成多個固態成像器件。

7.如權利要求6所述的固態成像器件的制造方法，其中，在形成光學濾光器的步驟中，通過升離方法在所述透明基板上形成所述濾光器層。

8.如權利要求7所述的固態成像器件的制造方法，其中，

形成光學濾光器的步驟包括以下步驟：

形成光致抗蝕圖案，使之定位在所述透明基板的表面上形成有所述濾光器層的區域以外的區域的上方；

在所述透明基板的形成有所述光致抗蝕圖案的表面上形成濾光器層，以覆蓋所述透明基板的上表面和所述光致抗蝕圖案的上表面；以及

去除在上表面上覆蓋有濾光器層的所述光致抗蝕圖案，并且

在形成光致抗蝕圖案的步驟中，將所述光致抗蝕圖案形成為具有這樣一種截面形狀，該截面形狀在接近所述透明基板的一側具有小寬度，并且隨著遠離所述透明基板而逐漸具有較大的寬度。