[發(fā)明專利]分離掩模和用于組裝包括其的掩模框架組件的組裝設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210033210.1
• 申請日: 2012-02-14
• 公開（公告）號: CN102766842A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金容煥
• 申請（專利權(quán)）人: 三星移動(dòng)顯示器株式會(huì)社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星

本申請要求于2011年5月6日提交到韓國知識產(chǎn)權(quán)局的第10-2011-0043077號韓國專利申請的權(quán)益，該申請的公開通過引用被全部包含于此。

技術(shù)領(lǐng)域

實(shí)施例涉及一種分離掩模(split?mask)和用于組裝包括該分離掩模的掩模框架組件的組裝設(shè)備。

背景技術(shù)

通常，在顯示裝置中，有機(jī)發(fā)光顯示裝置具有寬的視角、優(yōu)異的對比度和高的響應(yīng)速度。

有機(jī)發(fā)光顯示裝置具有堆疊結(jié)構(gòu)(在該堆疊結(jié)構(gòu)中，發(fā)射層插入在陽極和陰極之間)并基于以下原理獲得顏色：當(dāng)從陽極和陰極注入到發(fā)射層中的空穴和電子重新結(jié)合時(shí)發(fā)射光。然而，使用上述結(jié)構(gòu)難以獲得高的發(fā)光效率。因此，將其他中間層，諸如電子注入層、電子傳輸層、空穴傳輸層和空穴注入層選擇性地置于電極與發(fā)射層之間。

可以使用各種方法形成包括中間層的發(fā)射層和電極，這些方法中的一種是沉積。為了使用沉積法制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置，在基底上排列具有與將要形成的薄膜的圖案相同的圖案的精細(xì)金屬掩模(FMM)，并且薄膜的原材料沉積，以形成具有期望的圖案的薄膜。

通過將多個(gè)分離掩模附著到框架來形成分離掩模組件。當(dāng)將分離掩模附著到框架時(shí)，分離掩模沿長度方向被拉緊。如果分離掩模不是在拉緊的狀態(tài)下被結(jié)合到框架，則在分離掩模的主體中形成波紋，這會(huì)降低分離掩模和基底之間的附著力，并使沉積精度下降。因此，當(dāng)將分離掩模附著到框架時(shí)，分離掩模沿長度方向被拉緊，而后被附著到框架。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例，一種分離掩模可包括：桿狀主體，沉積圖案形成在該桿狀主體中；夾持部分，從桿狀主體的相對兩端遠(yuǎn)離桿狀主體延伸，其中，夾持部分包括從桿狀主體水平地延伸的第一夾持部分和從桿狀主體對角地延伸的第二夾持部分。

第一夾持部分可包括從桿狀主體的相對兩端中的每端的內(nèi)部延伸的第一延伸部分和第二延伸部分，第二夾持部分可包括從桿狀主體的相對兩端中的每端的最外部延伸的第一延伸部分和第二延伸部分。

第一夾持部分的第一延伸部分和第二延伸部分可相對于桿狀主體的水平中心線對稱地設(shè)置，第二夾持部分的第一延伸部分和第二延伸部分可相對于桿狀主體的水平中心線對稱地設(shè)置。

根據(jù)一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例，一種用于組裝掩模框架組件的組裝設(shè)備可包括：第一拉伸器件，可拆卸地連接到第一夾持部分，第一夾持部分從分離掩模的桿狀主體的端部的內(nèi)部延伸，第一拉伸器件被構(gòu)造成沿桿狀主體的長度方向施加拉力；第二拉伸器件，可拆卸地連接到第二夾持部分，第二夾持部分從桿狀主體的端部的最外部延伸，第二拉伸器件被構(gòu)造成沿桿狀主體的寬度方向施加拉力。

第一夾持部分可從桿狀主體的端部水平地延伸，第二夾持部分可從桿狀主體的端部對角地延伸。

第一拉伸器件可包括：第一拉伸臺，與桿狀主體的端部水平地對齊；第一拉伸單元，位于第一拉伸臺上，第一拉伸單元可拆卸地連接到第一夾持部分，用于將拉力施加到第一夾持部分。

第一拉伸單元可包括：第一夾具，可拆卸地連接到第一夾持部分；第一拉伸件，連接到第一夾具，第一拉伸件被構(gòu)造成拉動(dòng)第一夾具。

第二拉伸器件可包括：第二拉伸臺，與桿狀主體的端部對角地對齊；第二拉伸單元，位于第二拉伸臺上，第二拉伸單元可拆卸地連接到第二夾持部分，用于將拉力施加到第二夾持部分。

第二拉伸單元可包括：第二夾具，可拆卸地連接到第二夾持部分；第二拉伸件，連接到第二夾具，第一拉伸件被構(gòu)造成拉動(dòng)第二夾具。

第二拉伸臺可在第一位置和第二位置之間旋轉(zhuǎn)。

第二拉伸臺可被構(gòu)造成朝著第一拉伸器件以及遠(yuǎn)離第一拉伸器件水平地運(yùn)動(dòng)。

第一拉伸器件可與桿狀主體的端部的內(nèi)部在位置上對應(yīng)，第二拉伸器件可與桿狀主體的端部的外部在位置上對應(yīng)。第一拉伸器件的第一拉伸部分和第二拉伸部分可相對于桿狀主體的水平中心線對稱地形成，第二拉伸器件的第一拉伸部分和第二拉伸部分可相對于桿狀主體的水平中心線對稱地形成。

附圖說明

通過參照附圖對本發(fā)明的示例性實(shí)施例進(jìn)行的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述和其他特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加明顯，在附圖中：

圖1示出了根據(jù)實(shí)施例的分離掩模和用于組裝掩模框架組件的組裝設(shè)備的透視圖；

圖2示出了圖1中示出的分離掩模的俯視圖；

圖3示出了圖1中示出的用于組裝掩模框架組件的組裝設(shè)備的放大透視圖；

圖4示出了圖3中示出的組裝設(shè)備的另一示例的透視圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在將參照示出了示例性實(shí)施例的附圖來更充分地描述實(shí)施例。