[發明專利]用于檢測離子源污染的分析器有效
| 申請號： | 201210033028.6 | 申請日： | 2012-02-14 |
| 公開（公告）號： | CN103247508A | 公開（公告）日： | 2013-08-14 |
| 發明（設計）人： | 許飛 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/244 | 分類號： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 檢測 離子源 污染 分析器 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于檢測離子源污染的分析器，包括離子篩選管，其特征在于：還包括控制器，所述離子篩選管的側壁上設有若干相互隔離且并排的石墨條，所述控制器與各石墨條相連接，所述各石墨條接收單種雜質離子，所述控制器時時監測各石墨條上的雜質離子用于檢測離子源污染。
2.根據權利要求1所述的用于檢測離子源污染的分析器，其特征在于：所述控制器包括與各石墨條一一對應設置的電流檢測裝置，所述電流檢測裝置用于檢測各石墨條上單種雜質離子的電流大小。
3.根據權利要求2所述的用于檢測離子源污染的分析器，其特征在于：所述電流檢測裝置包括運算放大器和電流表，所述運算放大器一端連接石墨條，另一端連接電流表。
4.根據權利要求1所述的用于檢測離子源污染的分析器，其特征在于：所述石墨條通過絕緣的固定槽安裝在離子篩選管的側壁上。
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