[發明專利]一種用于抬升襯底的頂桿組件

有效

• 申請號: 201210032931.0
• 申請日: 2012-02-14
• 公開（公告）號: CN103247711A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 胡國申
• 申請（專利權）人: 理想能源設備（上海）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/683
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種用于抬升襯底的頂桿組件，所述頂桿組件包括頂桿以及用于引導所述頂桿作軸向移動的導向裝置；所述導向裝置包括支架以及安裝在所述支架上的多個導向機構，所述多個導向機構圍繞所述頂桿設置，限制所述頂桿的位置，其特征在于，

所述導向裝置還包括調整機構，所述調整機構至少控制一個所述的導向機構，用于調整該導向機構沿所述頂桿徑向與所述頂桿間的距離。

2.如權利要求1所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述支架包括沿所述頂桿軸向設置的穿通孔，所述頂桿至少部分設置在所述穿通孔中，所述多個導向機構設置在所述穿通孔的孔壁上。

3.如權利要求2所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調整機構控制的導向機構至少包括一個滾輪；所述滾輪引導所述頂桿作軸向移動。

4.如權利要求3所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調整機構控制所述滾輪移動，從而調整所述滾輪與其余導向機構間的距離。

5.如權利要求4所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，在所述支架上，設有貫穿所述孔壁的窗口；所述滾輪安裝在所述窗口中。

6.如權利要求5所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調整機構控制的導向機構還包括一滾軸，所述滾輪安裝在所述滾軸上；且在所述支架上，位于所述窗口的兩側開設有用于放置所述滾輪的切除部。

7.如權利要求6所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調整機構包括一調整板和一定位裝置，所述調整板通過所述定位裝置設置于所述孔壁外表面；所述定位裝置調整所述調整板相對所述支架移動，并帶動所述滾軸移動從而調整所述滾輪與所述頂桿間的距離。

8.如權利要求7所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述滾軸的一端抵于所述調整板。

9.如權利要求8所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調整機構還包括彈性定位裝置；所述調整機構控制的導向機構通過所述彈性定位裝置與所述支架連接。

10.如權利要求9所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述彈性定位裝置包括彈簧片、彈簧墊或彈性材料層；所述彈簧片、彈簧墊或彈性材料層安裝于所述切除部內，且位于所述滾軸與支架的間隙之間。

11.如權利要求8所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調整機構還包括彈性定位裝置；所述彈性定位裝置包括彈簧片、彈簧墊或彈性材料層；所述滾軸的另一端抵于所述支架，且所述滾軸與調整板之間設有所述彈性定位裝置。

12.如權利要求9所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述彈性定位裝置包括一個安裝在所述支架上的軸承，所述軸承與所述支架間設有彈簧片、彈簧墊或彈性材料層；所述滾軸插于所述軸承內，而所述軸承固定于所述切除部內。

13.如權利要求7所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述滾軸的一端連接所述調整板。

14.如權利要求13所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調整板設有固定軸套或開設凹孔；所述滾軸一端裝于所述固定軸套或是凹孔中，從而與所述調整板連接。

15.如權利要求14所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述固定軸套或凹孔與所述滾軸相接觸的內側表面設有凹槽，且所述凹槽內裝有滾珠。

16.如權利要求14所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述固定軸套或凹孔的內徑大于所述滾軸的外徑，且在所述固定軸套或凹孔與滾軸之間設有復位裝置。

17.如權利要求16所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述復位裝置為彈簧片、彈簧墊或彈性材料層。

18.如權利要求13所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述導向機構的滾軸一端設有一曲面凸塊；所述調整板上開設有與所述滾軸的曲面凸塊結構相配的凸塊凹孔，所述滾軸的曲面凸塊裝于所述凸塊凹孔內，與所述調整板連接。

19.如權利要求18所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調整機構還包括一個固定在所述支架上的定位軸套；所述滾軸另一端插于所述定位軸套內，且所述定位軸套內徑大于所述滾軸直徑。