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[發明專利]一種測試用集成電路在審

專利信息
申請號: 201210030447.4 申請日: 2012-02-10
公開(公告)號: CN102543960A 公開(公告)日: 2012-07-04
發明(設計)人: 何軍 申請(專利權)人: 上海宏力半導體制造有限公司
主分類號: H01L23/544 分類號: H01L23/544
代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 代理人: 鄭瑋
地址: 201203 上海市浦*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 測試 集成電路
【權利要求書】:

1.一種測試用集成電路,位于晶片的切割道區,其特征在于:該測試用集成電路包括多組測試焊墊,其中,不同組測試焊墊交錯放置,每個測試焊墊組的測試焊墊的間距至少為探針的最小間距。

2.如權利要求1所述的測試用集成電路,其特征在于:不同組測試焊墊的測試焊墊之間為等間距。

3.如權利要求1所述的測試用集成電路,其特征在于:不同組測試焊墊的測試焊墊之間的間距至少為集成電路的最小安全距離。

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