[發明專利]制造無源矩陣有機電致發光器件的方法、該器件及其設備

無效

• 申請號: 201210029161.4
• 申請日: 2012-02-09
• 公開（公告）號: CN102593379A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 邱勇;辛小剛;高裕弟
• 申請（專利權）人: 昆山維信諾顯示技術有限公司;清華大學;北京維信諾科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32
• 代理公司: 北京北翔知識產權代理有限公司 11285
• 代理人: 楊勇;鄭建暉

1.一種利用隔離柱的制造無源矩陣有機電致發光器件的方法，包括：

在基板上形成相互平行并相互間隔開的一組第一顯示電極；

在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱，所述一組單層隔離柱相互平行并相互間隔開，且垂直于所述一組第一顯示電極，每個所述單層隔離柱在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈倒梯形形狀的橫截面；以及

在形成有所述一組第一顯示電極和一組單層隔離柱的基板上依次沉積功能層和第二顯示電極層，

其中所述橫截面的每個側邊與所述基板成45度-70度的角。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱包括：

在形成有所述一組第一顯示電極的基板上涂覆預定厚度的隔離柱膠；

預烘烤所述隔離柱膠；

對所述隔離柱膠曝光，其中具有預定圖案的掩模被布置于所述隔離柱膠之上；以及

對曝光后的隔離柱膠顯影，以形成所述一組單層隔離柱。

3.權利要求2所述的方法，其中，在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱還包括：

固烤所述一組單層隔離柱。

4.權利要求2所述的方法，其中，在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱還包括：

在涂覆所述隔離柱膠之前，清洗形成有所述一組第一顯示電極的基板。

5.權利要求2所述的方法，其中，所述隔離柱膠是負型隔離柱膠，所述掩模的圖案及被布置的方式使得與所述一組單層隔離柱對應的隔離柱膠被暴露，其余隔離柱膠被掩模覆蓋，并且在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組單層隔離柱還包括：

在對曝光后的隔離柱膠顯影之前，以從低溫到高溫的順序在多個不同溫度下烘烤曝光后的隔離柱膠。

6.權利要求2所述的方法，其中，所述隔離柱膠是正型隔離柱膠，所述掩模的圖案及被布置的方式使得與所述一組單層隔離柱對應的隔離柱膠被掩模覆蓋，其余隔離柱膠被暴露。

7.權利要求2所述的方法，其中，所述預定厚度為3.7微米。

8.一種利用隔離柱的制造無源矩陣有機電致發光器件的方法，包括：

在基板上形成相互平行并相互間隔開的一組第一顯示電極；

在形成有所述一組第一顯示電極的基板上形成一組各具有上層和下層的雙層隔離柱，所述一組雙層隔離柱相互平行并相互間隔開，且垂直于所述一組第一顯示電極，每個所述雙層隔離柱的上層在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈倒梯形形狀的橫截面；以及

在形成有所述一組第一顯示電極和一組雙層隔離柱的基板上依次沉積功能層和第二顯示電極層，

其中所述橫截面的每個側邊與所述基板成45度-70度的角。

9.如權利要求8所述的方法，其中，每個所述雙層隔離柱的下層在平行于所述一組第一顯示電極的方向上具有呈矩形形狀或正梯形形狀的橫截面。

10.權利要求1或8所述的方法，其中，所述隔離柱由粘度大于15厘泊的不透明的隔離柱膠形成。

11.根據權利要求1或8所述的方法，其中所述橫截面具有3-3.5微米優選為3.3微米的高度。

12.一種根據權利要求1-11中任一項所述的方法制造的無源矩陣有機電致發光器件。

13.一種有機電致發光顯示設備，包括根據權利要求12所述的無源矩陣有機電致發光器件。