[發明專利]壓電振動片、壓電振動器、振蕩器、電子設備以及電波鐘表

無效

• 申請號: 201210027796.0
• 申請日: 2012-01-30
• 公開（公告）號: CN102624353A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 小林高志
• 申請（專利權）人: 精工電子有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;G04C9/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;王忠忠

技術領域

本發明涉及壓電振動片、壓電振動器、振蕩器、電子設備以及電波鐘表。

背景技術

在便攜電話、便攜信息終端設備中，利用石英(水晶)等的壓電振動器用作時刻源、控制信號的定時源、參考信號源等。提供了各式各樣的這種壓電振動器，而作為其中之一，為人所知的是具有所謂的音叉型壓電振動片的壓電振動器。

近年來，隨著搭載的設備的小型化，希望壓電振動片進一步小型化。作為將壓電振動器的CI值(Crystal?Impedance：晶體阻抗)抑制得較低，且謀求壓電振動片的小型化的方法，已知在壓電振動片的振動臂部的兩主面形成槽部的方法(例如，參照專利文獻1)。

圖14是現有技術的說明圖，是沿著專利文獻1的與振動臂部203的長度方向垂直的面的截面圖。如圖14所示，第1激振電極210主要在槽部205的內部形成，第2激振電極211主要在振動臂部203的側面形成，振動臂部203為截面大致H字形狀。

已知形成有槽部205的壓電振動片的CI值一般依賴于振動臂部203的側面203a和槽部側面205a的寬度D。具體而言，通過使寬度D狹窄而能夠將CI值抑制得較低。

另外，關于壓電振動片的高性能化，重要的是抑制振動泄漏以及確保良好的驅動電平(drive?level)特性。

這里，振動泄漏是指，當使壓電振動片工作時，壓電振動片的振動向外部泄漏的、振動能量的泄漏。該振動泄漏與壓電振動片的效率變差相關，所以需要盡可能地抑制振動泄漏。

另外，驅動電平特性是指，相對于驅動電壓的變動的壓電振動片的振動頻率的變動特性。振動頻率的變動Δf越小，驅動電平特性越良好，可以說壓電振動片是高性能的。

已知壓電振動片的振動泄漏及驅動電平特性一般依賴于振動臂部203的剛性。另外，振動臂部203的剛性依賴于與振動臂部203的長度方向垂直的截面的面積S(以下，稱為“振動臂部的截面積S”。)。因此，振動泄漏及驅動電平特性依賴于振動臂部203的截面積S。具體而言，通過擴大振動臂部203的截面積S而提高振動臂部203的剛性，能夠抑制振動泄漏且確保良好的驅動電平特性。

專利文獻1的壓電振動片具備：基部，形成有基部電極部(相當于本申請的“裝配電極”)；振動細棒(相當于本申請的“振動臂部”)，從該基部突出而形成；槽部，具有形成于該振動細棒的表面和/或背面的槽電極部(相當于本申請的“激振電極”)；以及連接電極部，連接基部電極部和槽電極部(相當于本申請的“引出電極”)。槽部的基端側的寬度形成得比其他部分窄，從而確保形成連接電極部的區域寬。在該專利文獻1中，振動臂部203的基端側的截面積S擴大，所以作為結果振動臂部的基端側的剛性提高。

專利文獻1：日本特開2002-76827號公報

然而，在專利文獻1中，僅提高了振動臂部的基端側的剛性，所以未充分確保振動臂部203整體的剛性，存在不能夠抑制振動泄漏，不能夠確保良好的驅動電平特性的擔憂。另外，在基端側，振動臂部的側面和槽部側面的寬度D(參照圖14)擴大，所以存在CI值變高的擔憂。

發明內容

因此，本發明的課題在于，提供能夠抑制振動泄漏、且確保良好的驅動電平特性，并且將CI值抑制得較低的壓電振動片、使用該壓電振動片的壓電振動器、振蕩器、電子設備以及電波鐘表。

為了解決上述課題，本發明的壓電振動片具備：并排地配置的一對振動臂部；在所述振動臂部的兩主面上形成、沿著所述振動臂部的長度方向延伸的槽部；以及連接有所述一對振動臂部的基部，其特征在于，在所述振動臂部的寬度方向并排地在所述各振動臂部分別形成多個所述槽部。

依據本發明，通過在振動臂部的寬度方向并排形成多條槽部，而在各槽部之間形成壁，所以在形成有槽部的區域整體能夠擴大振動臂部的截面積。由此，與專利文獻1那樣使1條槽部的基端側的寬度狹窄的情況相比，在形成有槽部的區域整體能夠提高振動臂部的剛性，所以能夠抑制振動泄漏、確保良好的驅動電平特性。另外，即使不像專利文獻1那樣使槽部的基端側的寬度狹窄，振動臂部的剛性也變高，因此在形成有槽部的區域整體能夠使振動臂部的側面和槽部側面的寬度狹窄，能夠將CI值抑制得較低。

另外，在每1個所述振動臂部形成3個形成所述槽部，在所述3條槽部之中，在所述寬度方向的中央配置的中央槽部中的所述振動臂部的基端側的中央槽基端部，在所述基部和所述振動臂部的連接部附近配置；在所述3條槽部之中，在所述中央槽部的所述寬度方向的兩側配置的側槽部的所述基端側的側槽基端部，也可相對所述中央槽基端部在更靠近所述振動臂部的前端側配置。