[發(fā)明專利]壓電振動片的制造方法、壓電振動片、壓電振動器、振蕩器、電子設備以及電波鐘表

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210027767.4
• 申請日: 2012-01-30
• 公開（公告）號: CN102624347A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發(fā)明（設計）人: 色川大城
• 申請（專利權）人: 精工電子有限公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/13;H03H9/215
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;王忠忠

1.一種壓電振動片的制造方法，用于使用光刻技術在形成有壓電振動片的外形的壓電板的表面形成電極，其特征在于，

所述壓電振動片具備：

并排配置的一對振動臂部；

基部，連接有所述一對振動臂部；

叉部，在所述振動臂部和所述基部的連接部形成；以及

第1電極及第2電極，至少分別形成于夾著所述叉部而對置的所述一對振動臂部的側(cè)面，

形成所述各電極的電極形成工序具有：

金屬膜成膜工序，在所述壓電板的表面進行金屬膜成膜；

掩模材涂敷工序，與所述金屬膜重疊地涂敷掩模材；

曝光工序，對所述掩模材進行曝光；

顯影工序，將所述掩模材浸漬在顯影液而選擇性地除去，形成用于形成所述各電極的掩模圖案；以及

蝕刻工序，隔著所述掩模圖案進行所述金屬膜的蝕刻，形成所述各電極，

在所述曝光工序與所述顯影工序之間，具有將涂敷有所述掩模材的所述壓電板浸漬在可溶于所述顯影液且比所述顯影液粘度低第1液體的浸漬工序。

2.如權利要求1所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，

所述顯影液是氫氧化鈉水溶液，所述第1液體是純水。

3.一種壓電振動片，其特征在于，

通過權利要求1或2所述的制造方法來制造。

4.一種壓電振動器，其特征在于，

具備權利要求3所述的壓電振動片。

5.一種振蕩器，其特征在于，

權利要求4所述的壓電振動器作為振子與集成電路電連接。

6.一種電子設備，其特征在于，

權利要求4所述的壓電振動器與計時部電連接。

7.一種電波鐘表，其特征在于，

權利要求4所述的壓電振動器與濾波器部電連接。