[發(fā)明專利]一種光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210024607.4
• 申請日: 2012-02-03
• 公開（公告）號: CN103246168A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳軍;袁志揚(yáng);魏巍;郭琳
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，包括Y向滑臺、Y向?qū)к壓徒徊嫔炜s連桿機(jī)構(gòu)，所述Y向滑臺通過氣浮軸承設(shè)置在所述Y向?qū)к壣希鯵向滑臺由滑臺電機(jī)驅(qū)動在Y向與硅片臺保持同步運(yùn)動，所述線纜設(shè)施經(jīng)由所述Y向滑臺沿所述交叉伸縮連桿機(jī)構(gòu)輸送到所述硅片臺上，交叉伸縮連桿機(jī)構(gòu)包括交叉伸縮連桿和驅(qū)動器，所述交叉伸縮連桿一端連接所述Y向滑臺，另一端通過線纜設(shè)施連接于硅片臺，所述驅(qū)動器用于驅(qū)動所述交叉伸縮連桿沿X向運(yùn)動，從而帶動所述線纜設(shè)施沿X向運(yùn)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，所述交叉伸縮連桿包括八根桿件，所述八根桿件兩兩交叉形成四個交點(diǎn)與三個平行四邊形，靠近所述Y向滑臺的兩個交點(diǎn)分別固定于Y向滑臺的兩點(diǎn)，靠近所述硅片臺的交點(diǎn)懸空，且通過線纜設(shè)施連接所述硅片臺。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，Y向滑臺上設(shè)置有第一支承座和第二支承座，第一支承座和第二支承座之間設(shè)置有絲杠，絲杠螺母通過絲杠螺母副安裝在絲杠上，四個交點(diǎn)中靠近所述Y向滑臺的兩個交點(diǎn)分別固定于Y向滑臺的上述第一支承座和上述第二支承座，所述驅(qū)動器為旋轉(zhuǎn)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的電機(jī)軸通過聯(lián)軸器與絲杠的一端相固聯(lián)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的電機(jī)軸上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)編碼器或者圓光柵，用來測量和控制電機(jī)轉(zhuǎn)角。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，所述交叉伸縮連桿的八根桿件之間均通過轉(zhuǎn)動副相連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，所述交叉伸縮連桿各桿件的側(cè)面設(shè)置有用于線纜設(shè)施走線的線纜卡扣。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，所述四個交點(diǎn)中靠近硅片臺的交點(diǎn)連接傳感器支架，傳感器支架上設(shè)置有兩個位移傳感器，用來測量交叉伸縮連桿機(jī)構(gòu)相對于硅片臺X向位移以及硅片臺Rz軸向的角位移。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，所述交叉伸縮連桿為懸臂結(jié)構(gòu)，每根桿件選用鋁合金、鎂合金、鈦合金、碳纖維、陶瓷或者其他無磁性材料來加工制造。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，所述交叉伸縮連桿和硅片臺之間通過所述線纜設(shè)施的線纜柔性連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，所述硅片臺為平面氣浮單硅片臺、平面氣浮多硅片臺、平面磁浮單硅片臺或者平面磁浮多硅片臺。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)硅片臺的主動驅(qū)動線纜臺，其特征在于，所述線纜設(shè)施包括通信線纜、功率線纜、氣管、水管。