[發明專利]一種光微加工方法無效
| 申請號： | 201210023662.1 | 申請日： | 2012-02-03 |
| 公開（公告）號： | CN103246167A | 公開（公告）日： | 2013-08-14 |
| 發明（設計）人： | 湯浩泉 | 申請（專利權）人： | 湯浩泉 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G02B6/32 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 435300 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 加工 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種自聚焦透鏡，其特征在于：由光纖預制棒拉制而成，芯部中心折射率低于芯部邊緣折射率，從芯部中心到芯部邊緣折射率曲線變化如附圖2。
2.一種自聚焦光纖，其特征在于：光纖芯部中心折射率低于芯部邊緣折射率，從芯部中心到芯部邊緣折射率曲線變化如附圖2。
3.一種微小光斑的制作方法，其特征在于：將入射光經自聚焦透鏡匯入自聚焦光纖，將自聚焦光纖局部地方沿不同方向多作轉彎以壓縮光束以致在自聚焦光纖出射端得到微小光斑。
4.一種光刻方法，其特征在于：將多根自聚焦光纖出射端裸纖整齊排列，將各根光纖的入射端由單獨的計算機程序控制的電光開關控制入射光的進入以使各根光纖進行各自的光刻，整組光纖進行整個電路芯片進行光刻。
5.一種光刻方法，其特征在于：將多根自聚焦光纖光纖尾部裸纖出射端整齊錯位排列如附圖9，由附圖9所示直線平移進行光刻。
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