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[發(fā)明專利]半導(dǎo)體用粘接劑組合物、半導(dǎo)體用粘接片及半導(dǎo)體裝置的制造方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201210022735.5 申請(qǐng)日: 2012-01-20
公開(公告)號(hào): CN102618178A 公開(公告)日: 2012-08-01
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 市川功;古館正啟;樫尾干広;宮田壯;柳本海佐;小曾根雄一 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 琳得科株式會(huì)社
主分類號(hào): C09J4/02 分類號(hào): C09J4/02;C09J4/06;H01L21/67;H01L21/58
代理公司: 隆天國(guó)際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 代理人: 崔香丹;洪燕
地址: 日本*** 國(guó)省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 用粘接劑 組合 用粘接片 裝置 制造 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種半導(dǎo)體用粘接劑組合物,包含:

丙烯酸酯聚合物(A);

環(huán)氧系熱固化樹脂(B);

熱固化劑(C);

具有有機(jī)官能團(tuán)、分子量300以上、烷氧基當(dāng)量大于13mmol/g的硅烷化合物(D);以及

具有有機(jī)官能團(tuán)、分子量300以下、烷氧基當(dāng)量13mmol/g以下的硅烷化合物(E)。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體用粘接劑組合物,其中,上述硅烷化合物(D)或上述硅烷化合物(E)中的有機(jī)官能團(tuán)為環(huán)氧基。

3.一種半導(dǎo)體用粘接片,將由權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體用粘接劑組合物所形成的粘接劑層,形成于基材上而成。

4.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括:

將半導(dǎo)體晶片貼附于權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體用粘接片的粘接劑層的步驟;

切割該半導(dǎo)體晶片以形成半導(dǎo)體芯片的步驟;

使上述粘接劑層固著殘留于該半導(dǎo)體芯片的內(nèi)面而自基材剝離的步驟;以及

以中間有上述粘接劑層的方式,將該半導(dǎo)體芯片熱壓于沉積部的步驟。

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