[發明專利]電弧沉積系統及其過濾器

無效

• 申請號: 201210022437.6
• 申請日: 2012-02-01
• 公開（公告）號: CN102628159A
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: K·邦度姆
• 申請（專利權）人: 蒸汽技術公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 湯在彥

1.一種用于電弧沉積系統的過濾器，其特征在于，所述電弧沉積系統包括細長陰極、陽極和至少一個襯底，所述過濾器包括：

偶數個導管組件，其圍繞所述細長陰極對稱地放置，所述導管組件定義用于引導等離子體的磁場，并且具有用于阻礙宏觀粒子的阻擋部件。

2.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于所述導管組件為電偏壓，以排斥正離子。

3.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于所述過濾器能夠位于所述陰極和所述襯底之間。

4.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于相鄰導管組件具有相反的磁極性。

5.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于所述導管組件的數量是2到8之間的偶數。

6.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于中所述導管組件的數量為四。

7.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于所述阻擋部件位于所述導管組件朝向所述陰極的一側，從而阻檔在所述陰極和襯底區之間的視線。

8.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于所述阻擋部件具有帶正電的表面。

9.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于導管組件圍繞有磁場，所述磁場具有垂直于細長圓柱形陰極表面的方向，以及有利于進行等離子體引導的強度，所述強度是通過使電流流過所述導管組件而產生的。

10.一種用于電弧沉積系統的過濾器，其特征在于，所述電弧沉積系統包括細長陰極、陽極和至少一個襯底，所述過濾器包括：

偶數個導管組件，其圍繞所述細長陰極對稱地放置，所述導管組件定義用于引導等離子體的磁場，以及用于排斥正離子的電偏壓，且所述導管組件具有用于阻礙宏觀粒子的阻擋部件，所述阻擋部件具有帶正電的表面。

11.根據權利要求10所述的過濾器，其特征在于所述過濾器能夠位于所述陰極和所述襯底之間。

12.根據權利要求10所述的過濾器，其特征在于相鄰導管組件具有相反的磁極性。

13.根據權利要求10所述的過濾器，其特征在于所述導管組件的數量是2到8之間的偶數。

14.根據權利要求10所述的過濾器，其特征在于所述阻擋部件位于所述導管組件朝向所述陰極的一側，從而阻擋在所述陰極和襯底區之間的視線。

15.根據權利要求10所述的過濾器，其特征在于所述導管組件圍繞有磁場，所述磁場具有垂直于細長圓柱形陰極表面的方向，以及有利于進行等離子體引導的強度，所述強度是通過使電流流過所述導管組件而產生的。

16.一種電弧沉積系統，其特征在于，其包括：

細長陰極；

襯底區，其具有圍繞電弧陰極設置的多個襯底；

陽極，其位于遠離細長電弧陰極的位置；

負偏壓襯底區；以及

過濾器，其設置在所述陰極和所述襯底之間，所述過濾器包括：

偶數個導管組件，其圍繞所述細長陰極對稱地放置，所述導管組件形成用于引導等離子體的磁場，并且具有用于阻礙宏觀粒子的阻擋部件，其中所述導管組件能夠選擇施以電偏壓，以排斥正離子。

17.根據權利要求16所述的電弧沉積系統，其特征在于相鄰導管組件具有相反的磁極性。

18.根據權利要求16所述的電弧沉積系統，其特征在于所述導管組件的數量是2到8之間的偶數。

19.根據權利要求16所述的電弧沉積系統，其特征在于所述阻擋部件位于所述導管組件朝向所述陰極的一側，從而阻擋在所述陰極和所述襯底區之間的視線。

20.根據權利要求16所述的電弧沉積系統，其特征在于所述阻擋部件具有帶正電的表面。

21.根據權利要求16所述的電弧沉積系統，其特征在于所述導管組件圍繞有磁場，所述磁場具有垂直于細長圓柱形陰極表面的方向，以及有利于進行等離子體引導的強度，所述強度是通過使電流流過所述導管組件而產生的。

22.根據權利要求16所述的電弧沉積系統，特征在于，進一步包括多個永久磁鐵，用于調整所述磁場。