[發明專利]一種單芯片三軸陀螺儀

有效

• 申請號: 201210022206.5
• 申請日: 2012-02-01
• 公開（公告）號: CN103245340A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 莊瑞芬;李剛
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術有限公司
• 主分類號: G01C19/5712
• 分類號: G01C19/5712
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔;黃曉明

1.一種單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述單芯片三軸陀螺儀包括：

質量塊，所述質量塊包括相互耦合的主質量塊和耦合質量塊，所述主質量塊為偶數個且沿Y軸對稱設置于所述耦合質量塊兩側；

電極層組，所述電極層組包括第一電極層組、第二電極層組和第三電極層組，所述第一電極層組、第二電極層組與所述質量塊之間具有間隙，且所述第一電極層組沿Y軸對稱設置于所述第二電極層組的兩側，所述第一電極層組位于所述質量塊的正投影內，所述第二電極層組位于所述耦合質量塊的正投影內，所述第三電極層組包括一組靜止型細長平板和一組活動型細長平板，所述第三電極層組通過彈性部件與所述主質量塊連接；

驅動梳齒組，所述驅動梳齒組與主質量塊連接，用以輸入信號并驅動所述主質量塊移動。

2.根據權利要求1所述的單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述單芯片三軸陀螺儀還包括第一錨點和第二錨點，所述第一錨點與主質量塊連接，所述第二錨點與耦合質量塊連接。

3.根據權利要求2所述的單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述第一錨點與主質量塊之間通過第一彈性部件連接，所述第二錨點與耦合質量塊之間通過第二彈性部件連接。

4.根據權利要求3所述的單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述第一彈性部件包括長直梁和短梁，所述第一彈性部件與主質量塊之間由長直梁連接，所述第一彈性部件與所述第一錨點之間由短梁連接。

5.根據權利要求1所述的單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述單芯片三軸陀螺儀還包括檢測梳齒組，所述檢測梳齒組與所述驅動梳齒組組成閉環負反饋系統。

6.根據權利要求1所述的單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述第一電極層組位于所述主質量塊的正投影內。

7.根據權利要求1所述的單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述第一電極層組位于所述耦合質量塊的正投影內。

8.根據權利要求1或所述的單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述第三電極層組沿Y軸對稱設置于所述主質量塊內。

9.根據權利要求1所述的單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述彈性部件包括支撐梁。

10.根據權利要求1所述的單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述驅動梳齒組內包括若干個驅動梳齒，所述每個驅動梳齒內包括一個驅動活動梳齒和一個驅動靜止梳齒。

11.根據權利要求1所述的單芯片三軸陀螺儀，其特征在于：所述主質量塊與耦合質量塊之間采用耦合梁實現耦合。