[發明專利]防塵薄膜組件用包裝箱

無效

• 申請號: 201210022174.9
• 申請日: 2012-02-01
• 公開（公告）號: CN102673890A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 關原一敏
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: B65D81/05
• 分類號: B65D81/05;B65D25/24
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 胡強

技術領域

本發明涉及一種包裝箱，該包裝箱是對容置有防塵薄膜組件的容器進行運輸以及保管的包裝箱，該防塵薄膜組件在制造半導體器件、印刷電路板、大規模集成電路、液晶顯示器時作為防塵使用。

背景技術

在大規模集成電路等的制造過程中，將光照射于半導體晶片和液晶用玻璃原板來制作圖案時所使用的光罩即光掩膜上一旦附著上塵埃，由于該塵埃會對光產生遮擋或者折射，存在著會對轉印錄的圖案造成損害的問題。為此，這些作業通常在無塵室內進行，但即使這樣也很難始終保持光掩膜的清潔，作為光掩膜表面的防塵措施，人們采用了加貼防塵薄膜組件的方法。

利用被加貼上的防塵薄膜組件，異物不會直接附著到光掩膜的表面上，而只是會附著到防塵薄膜組件上，因此光刻時如果將焦點對準在光掩膜的圖案上，則防塵薄膜組件上的異物就與轉錄沒有關系。該防塵薄膜組件具有如下結構，即：在防塵薄膜組件框架的上端面上，通過涂布溶劑使其風干來粘接或者通過膠粘劑來粘接能使普通光充分透過的透明的防塵薄膜，并且在防塵薄膜組件框架的下端面上，設置有用于粘貼光掩膜上的粘貼層，以及作為粘貼層的保護目的的離型層(分離層)。

另外，近年來，隨著液晶顯示器的大型化，液晶用光掩膜和防塵薄膜組件也趨向于大型化，出現了邊長超過1000mm的超大型產品。這樣的防塵薄膜組件，當然要求其儲存容器也大型化，并且隨著儲存容器的大型化，出現了提高儲存容器的剛性的要求，因此伴隨著這樣的要求，重量的増加也十分顯著。

在搬運這樣的防塵薄膜組件儲存容器時，由于重量，尺寸的問題，人工搬運就變得比較困難。邊長超過1000mm的特大型的防塵薄膜組件的搬運作業，不僅工時巨大，在卸下等場合還有會對作業人員造成重大傷害的危險性，是一項伴有極大危險性的作業，因此要使用叉車等叉型搬運設備。為此，考慮到需將叉車的插入，要在防塵薄膜組件儲存容器的外部底部設置突出的腳部。

用于容置、運輸這樣的防塵薄膜組件儲存容器的包裝箱，如圖8所示，為了不對防塵薄膜組件儲存容器造成沖擊，在內部底面配置底面緩沖體81以及在內部側面配置側面緩沖體14，以支持防塵薄膜組件儲存容器30的方式而被構成。此時，在防塵薄膜組件邊長超過500mm的大型的防塵薄膜組件儲存容器的情況下，緩沖體在單位面積上的負載變小，存在不能發揮緩沖能力的可能性。在那樣的情況下，通過減少緩沖體的接觸面積，能夠提高緩沖能力(專利文獻1)。相反，在邊長超過1000mm的超大型的防塵薄膜組件的情況下，防塵薄膜組件儲存容器具有相當的重量，所以很難正確地設計硬度。難以協調緩沖體的沉降初期的緩沖性與新增了大的沖擊時的防止觸底。

再有，還存在相對于水平方向的沖擊難以發揮緩沖能力的問題。在防塵薄膜組件儲存容器的重量比較輕的情況下，防塵薄膜組件儲存容器對緩沖體的沉降較少，在新增了來自水平方向的沖擊時，防塵薄膜組件儲存容器在緩沖體之上會有些側滑現象。配置在側面的緩沖體，主要是為了在此抵住發生側滑的防塵薄膜組件儲存容器來緩和沖擊而配置的。但是，在防塵薄膜組件儲存容器的重量非常重的情況下，并且，底面積非常大的情況下，防塵薄膜組件儲存容器要么沉降在緩沖體中，或者要么處于摩擦力非常大的狀態。因此，在水平方向的沖擊緩和方面，下面的緩沖體在水平方向上的剪切變形就顯得十分必要，但是由于大的平板狀的緩沖體在該方向上幾乎不能變形，所以不能充分發揮緩沖能力。

對此，通過將緩沖體的形狀做成柱的形狀，即：將水平面的面積變小，而將厚度變得非常厚，就能夠提高針對水平方向的變形。但是，單純增加厚度的話會增大無用的空間，而且在裝載防塵薄膜組件儲存容器時如果不能非常正確地將防塵薄膜組件儲存容器裝載到緩沖體上的話，會因為失去平衡而出現傾斜以及脫落的危險性，所以并不優選。根據這些情況，到目前為止還沒有一種既能夠容易地容置或取出防塵薄膜組件儲存容器，又對緩沖性進行了適當設計，且還沒有異物附著危險性的防塵薄膜組件用包裝箱。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2008-100733號公報

發明內容

發明要解決的課題

本發明是為了解決所述課題而完成的，其目的在于提供一種防塵薄膜組件用包裝箱，該包裝箱不僅能夠將容置了至少一個邊長超過1000mm的特大型的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件儲存容器以穩定而清潔的狀態來不傾斜以及不脫落地進行保管，而且能夠在對防塵薄膜組件儲存容器以及被容置著的防塵薄膜組件發揮充分的緩沖能力不對其造成沖擊和震動的情況下來進行運輸以及搬運。

解決課題的方法