[發(fā)明專利]自動調(diào)焦裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210021624.2
• 申請日: 2012-01-31
• 公開（公告）號: CN102621658A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發(fā)明（設計）人: 岡部憲嗣;下川清治;北川一樹
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G02B7/09
• 分類號: G02B7/09;G02B7/34;G03B13/36
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種自動調(diào)焦裝置，包括：

光源；

光學單元，其配置在所述光源和測量對象之間，用于使得來自所述光源的發(fā)射光和來自所述測量對象的物體光能夠經(jīng)過相同的光路；以及

檢測單元，用于通過使用經(jīng)過了所述光學單元的物體光來進行焦點檢測，

其中，所述光學單元包括：

管透鏡，用于使所述發(fā)射光形成為平行光；

線狀圖像形成單元，用于利用來自所述管透鏡的平行光在所述測量對象的表面上形成線狀圖像；以及

轉(zhuǎn)動單元，用于使所述線狀圖像轉(zhuǎn)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動調(diào)焦裝置，其特征在于，

所述線狀圖像形成單元包括柱面透鏡，以及

所述轉(zhuǎn)動單元通過使所述柱面透鏡轉(zhuǎn)動來使所述線狀圖像轉(zhuǎn)動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動調(diào)焦裝置，其特征在于，所述柱面透鏡被配置為能夠拆卸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動調(diào)焦裝置，其特征在于，

所述線狀圖像形成單元包括：

驅(qū)動鏡，用于反射來自所述管透鏡的平行光；

物鏡，用于利用被所述驅(qū)動鏡的反射面所反射的平行光在所述測量對象的表面上形成點狀圖像；以及

驅(qū)動單元，用于使所述驅(qū)動鏡的反射面繞與如下的光軸方向相垂直的轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，其中，所述光軸方向使所述驅(qū)動鏡和所述測量對象的表面相互連線，

其中，所述驅(qū)動單元通過使所述驅(qū)動鏡轉(zhuǎn)動來使所述點狀圖像線形移動，從而形成所述線狀圖像，以及

所述轉(zhuǎn)動單元通過使所述轉(zhuǎn)動軸繞所述光軸方向轉(zhuǎn)動來使所述線狀圖像轉(zhuǎn)動，其中，所述光軸方向使所述驅(qū)動鏡和所述測量對象的表面相互連線。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自動調(diào)焦裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元通過使所述驅(qū)動鏡的狀態(tài)在轉(zhuǎn)動狀態(tài)和靜止狀態(tài)之間切換，來使形成在所述測量對象的表面上的圖像的形狀在線狀和點狀之間切換。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動調(diào)焦裝置，其特征在于，還包括：

錯誤判斷單元，用于判斷所述檢測單元所檢測到的物體光的光量是否超過預定的閾值光量，并且在所檢測到的物體光的光量沒有超過所述預定的閾值光量時，判斷為發(fā)生了錯誤，

其中，當所述錯誤判斷單元判斷為發(fā)生了錯誤時，所述轉(zhuǎn)動單元使所述線狀圖像轉(zhuǎn)動。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動調(diào)焦裝置，其特征在于，所述線狀圖像的顏色根據(jù)來自所述光源的發(fā)射光的波長的改變而改變。