[發明專利]一種具有立方氮化硼硬質涂層的切削工具

有效

• 申請號: 201210020397.1
• 申請日: 2012-01-19
• 公開（公告）號: CN102534494A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 張金鳳
• 申請（專利權）人: 張金鳳
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06;C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種表面具有立方氮化硼硬質涂層的切削工具，其特征在于其由以下步驟制備得到：

步驟1)，選用高速鋼作為工具基體，用丙酮在超聲波中清洗后用氬氣吹干備用；

步驟2)，將基體放入射頻磁控濺射的真空室樣品臺上，并將燒結BN靶置于靶位，所述燒結BN靶中添加有占原子總量5-10％的Fe；

步驟3)，將真空室內真空度抽到≤5×10^-4Pa，同時通入流量為300-400sccm的純Ar，當真空室氣壓為2-3Pa時，預濺射15-20min，預濺射的功率為80-90W，基體偏壓為600-650V，基體溫度為450-500℃，以進一步除去基體表面的雜質并激活表面原子活性；

步驟4)，開始通入流量為10-15sccm的N₂，并減少Ar的流量為35-40sccm、真空室氣壓為0.9-1.1Pa、基體材料的負偏壓為100-150V，維持基體材料的溫度為450-500℃，移開BN靶的擋板，以150-200W功率進行濺射，濺射時間至少3h，以形成滿足厚度要求的立方氮化硼涂層；

步驟5)，維持Ar的惰性氣氛，在600-650℃條件下對涂層實施保溫處理，處理時間為1-1.5h。

2.根據權利要求1所述的切削工具，其中，高速鋼為W18Cr4V鋼。

3.根據權利要求1所述的切削工具，其中，燒結靶中添加有占原子總量7％的Fe。

4.根據權利要求1所述的切削工具，其中所述立方氮化硼涂層具有至少約32GPa的硬度。

5.根據權利要求1所述的切削工具，其中所述立方氮化硼涂層的厚度超過約450nm。