[發明專利]太陽能電池硅片的清洗方法

有效

• 申請號: 201210017662.0
• 申請日: 2012-01-19
• 公開（公告）號: CN102592972A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 崔景光;湯歡;劉旭;張杜超;陳靜
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

1.一種太陽能電池硅片的清洗方法，其特征在于，包括：

1)采用酒精或者松油醇清洗所述太陽能電池硅片，得到初步清洗的太陽能電池硅片；

2)采用堿性清洗劑溶液對所述初步清洗的太陽能電池硅片進行清洗，得到堿性清洗的太陽能電池硅片；

3)采用水對所述堿性清洗的太陽能電池硅片進行清洗；

4)采用雙氧水溶液對用水清洗的所述太陽能電池硅片進行清洗；

5)采用水對經過所述雙氧水溶液清洗的所述太陽能電池硅片進行清洗，獲得清洗得較干凈的所述太陽能電池硅片。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片的清洗方法，其特征在于，所述步驟2)還包括：在所述堿性清洗劑溶液中加入超聲波，進行超聲清洗。

3.根據權利要求2所述的太陽能電池硅片的清洗方法，其特征在于，所述步驟2)中，所述堿性清洗劑溶液中，純水與堿性清洗劑的體積比在7.5∶1和15∶1之間。

4.根據權利要求3所述的太陽能電池硅片的清洗方法，其特征在于，所述步驟2)中，采用所述堿性清洗劑溶液對所述太陽能電池硅片進行清洗的時間在30-150min之間。

5.根據權利要求2所述的太陽能電池硅片的清洗方法，其特征在于，所述步驟2)中，將所述初步清洗的太陽能電池硅片放入載片盒內進行清洗，通過超聲發生器向所述堿性清洗劑溶液中加入超聲波。

6.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片的清洗方法，其特征在于，所述步驟4)中，所述雙氧水溶液中雙氧水的質量濃度在5％-30％之間。

7.根據權利要求6所述的太陽能電池硅片的清洗方法，其特征在于，所述步驟4)中，采用所述雙氧水溶液對所述太陽能電池硅片進行清洗的時間在30-75min之間。

8.根據權利要求1-6中任意一項所述的太陽能電池硅片的清洗方法，其特征在于，所述步驟3)和/或步驟5)中，所述清洗的具體為通過浸沒或者噴淋的方式進行清洗。