[發(fā)明專利]單晶爐多功能取晶棒車

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210017098.2
• 申請(qǐng)日: 2012-01-19
• 公開（公告）號(hào): CN103215634A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳學(xué)軍;周凱平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧夏日晶新能源裝備股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00
• 代理公司: 銀川長征知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 64102
• 代理人: 馬長增

技術(shù)領(lǐng)域：

單晶爐多功能取晶棒車屬于冶煉機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及單晶爐多功能取晶棒車。

背景技術(shù)：

單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料。單晶爐取晶棒車的作用如下：在硅單晶拉制結(jié)束后，通過取晶棒車，夾緊晶棒取出，可以減少人工作業(yè)時(shí)間；目前使用的單晶爐取晶棒車，功能單一，結(jié)構(gòu)不靈活，操作復(fù)雜，晶棒取出困難。

發(fā)明內(nèi)容：

本發(fā)明單晶爐多功能取晶棒車發(fā)明目的在于：解決目前使用的單晶爐取晶棒車功能單一，實(shí)現(xiàn)在同一單晶爐取晶棒車上完成安裝盛料的石英坩堝和石墨坩堝，拆卸晶棒拉制完成后取出石墨和石英坩堝，解決石英、石墨坩堝取出工作強(qiáng)度大等問題。

本發(fā)明單晶爐多功能取晶棒車是這樣實(shí)現(xiàn)的：含有上爐體、籽晶繩、晶棒、取晶棒車卡抓、硅料、石英坩堝、石墨坩堝，還由取晶棒車提升架、坩堝取出機(jī)構(gòu)組成；可夾持晶棒的取晶棒車卡抓等分定距離固定安裝在取晶棒車主體立架上用于夾持從上爐體退出來的晶棒；籽晶繩為多根細(xì)鎢絲旋合而成，上端連接提升裝置，下端連接晶棒；可拆卸的取晶棒車提升架安裝在取晶棒車主體立架上，可拆卸的取晶棒車提升架前端安裝開口吊環(huán)用于掛接坩堝取出機(jī)構(gòu)，盛放硅料的石英坩堝放在石墨坩堝內(nèi)，石墨坩堝放置在坩堝取出機(jī)構(gòu)內(nèi)送進(jìn)或退出熱場；坩堝取出機(jī)構(gòu)為整體框式結(jié)構(gòu)，上端安裝帶有開口掛鉤的三角提梁，上爐體為水冷焊接件。

當(dāng)晶棒成形后，在上爐體內(nèi)冷卻，冷卻到可以取出的溫度時(shí)，將上爐體旋轉(zhuǎn)一個(gè)角度，然后通過籽晶繩將晶棒放到取晶棒車卡抓的相對(duì)位置，通過取晶棒車卡抓固定晶棒；剪斷籽晶繩與晶棒的連接，即可以將晶棒取出；然后通過取晶棒車的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)晶棒到90度，將晶棒放在工裝車上；將坩堝取出機(jī)構(gòu)套在石墨坩堝上，將坩堝取出機(jī)構(gòu)的掛鉤與取晶棒車提升架的掛鉤相連接，在取晶棒車提升架的帶動(dòng)下，可將坩堝取出機(jī)構(gòu)、石墨坩堝、石英坩堝及剩余硅料一起取出。

本發(fā)明單晶爐多功能取晶棒車的有益效果是：實(shí)現(xiàn)了在同一單晶爐取晶棒車上完成取晶棒、安裝盛料的石英和石墨坩堝、拆卸晶棒拉制完成后取出石墨和石英坩堝，一車多用，解決了石英石墨坩堝取出工作強(qiáng)度大問題。

附圖說明：

附圖1是單晶爐多功能取晶棒車夾持取出晶棒示意圖。

附圖2是單晶爐多功能取晶棒車安裝石墨和石英坩堝時(shí)吊掛坩堝取出機(jī)構(gòu)示意圖。

圖中：爐體1、籽晶繩2、晶棒3、取晶棒車卡抓4、硅料7、石英坩堝8、石墨坩堝9、取晶棒車提升架5、坩堝取出機(jī)構(gòu)6。

具體實(shí)施方式：

本發(fā)明單晶爐多功能取晶棒車，含有上爐體1、籽晶繩2、晶棒3、取晶棒車卡抓4、硅料7、石英坩堝8、石墨坩堝9，還由取晶棒車提升架5、坩堝取出機(jī)構(gòu)6組成；可夾持晶棒的取晶棒車卡抓4等分定距離固定安裝在取晶棒車主體立架上用于夾持從上爐體1退出來的晶棒3；籽晶繩2為多根細(xì)鎢絲旋合而成，上端連接提升裝置，下端連接晶棒3；可拆卸的取晶棒車提升架5安裝在取晶棒車主體立架上，可拆卸的取晶棒車提升架5前端安裝開口吊環(huán)用于掛接坩堝取出機(jī)構(gòu)6，盛放硅料7的石英坩堝8放在石墨坩堝9內(nèi)，石墨坩堝9放置在坩堝取出機(jī)構(gòu)6內(nèi)；坩堝取出機(jī)構(gòu)6為整體框式結(jié)構(gòu)，上端安裝帶有開口掛鉤的三角提梁；上爐體1為水冷焊接件。