[發(fā)明專利]wafer厚度及平面度的測(cè)量裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210015753.0
• 申請(qǐng)日: 2012-01-19
• 公開（公告）號(hào): CN103217115A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏志凌;寧軍;夏發(fā)平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山思拓機(jī)器有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06;G01B11/30
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種wafer厚度及平面度的測(cè)量裝置，其特征在于，包括龍門架（8-1）、測(cè)量平臺(tái)（2）、Wafer裝夾平臺(tái)（4）、精密測(cè)頭（6）和固定橫梁（8）；在測(cè)量平臺(tái)（2）上設(shè)有直線軸Y軸（3），Wafer裝夾平臺(tái)（4）設(shè)置于直線軸Y軸（3）上，可沿直線軸Y軸（3）前后運(yùn)動(dòng)，在龍門架（8-1）上設(shè)有固定橫梁（8），在固定橫梁（8）上設(shè)有直線軸X軸（7），在直線軸X軸（7）的Z軸上設(shè)有Z軸動(dòng)板，在Z軸動(dòng)板上設(shè)有精密測(cè)頭（6），精密測(cè)頭（6）可沿直線軸X軸（7）左右運(yùn)動(dòng)、沿Z軸上下運(yùn)動(dòng)，精密測(cè)頭（6）正下方為Wafer裝夾平臺(tái)（4）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述直線軸X軸（7）、直線軸Y軸（3）和Z軸相互垂直。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述Wafer裝夾平臺(tái)（4）包括安裝座（9）、多孔薄纖維板（10）、定位邊條（12）和定位銷（13）；所述多孔薄纖維板（10）位于安裝座（9）上方，所述定位邊條（12）位于多孔薄纖維板（10）的邊緣，所述定位銷（13）位于定位邊條（12）上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)量裝置，其特征在于，在所述邊條（12）上設(shè)有兩個(gè)定位銷（13）。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)量裝置，其特征在于，在所述多孔薄纖維板（10）正下方為氣流槽結(jié)構(gòu)，通過抽真空，將多孔薄纖維板（10）和Wafer（5）一起吸附住。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置，其特征在于，在所述測(cè)量平臺(tái)（2）的下方設(shè)有控制柜（1），用于控制所述測(cè)量裝置的工作。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量裝置的工作原理為先將厚度為A的標(biāo)準(zhǔn)塊（14）放置在Wafer裝夾平臺(tái)（4）工作面上吸附住，測(cè)量得h1值，將該值設(shè)定為零點(diǎn)，再將標(biāo)準(zhǔn)（14）塊移開，將Wafer（5）放置在Wafer裝夾平臺(tái)（4）工作面上吸附住，測(cè)量得Y值，從而準(zhǔn)確得到Wafer（5）的厚度X為A-Y。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量平臺(tái)（2）的材質(zhì)為天然花崗巖。