[發(fā)明專利]一種新型柵極圖形尺寸收縮方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210014989.2
• 申請(qǐng)日: 2012-01-18
• 公開（公告）號(hào): CN102543712A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊渝書;李程;陳玉文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/3105
• 分類號(hào): H01L21/3105;G03F7/40
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

1.一種新型柵極圖形尺寸收縮方法，其特征在于：其具有以下步驟：

1）將晶圓置于加熱板上，上方設(shè)有紫外光源；

2）使用紫外光對(duì)晶圓進(jìn)行均勻照射；

3）至光阻表面交聯(lián)固化完成時(shí)，加熱板進(jìn)行加熱；

4）反應(yīng)完成后，去掉紫外光，并進(jìn)行常溫冷卻；

5）進(jìn)行光阻特征尺寸的量測(cè)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種新型柵極圖形尺寸收縮方法，其特征在于：所述步驟（2）中使用的紫外光波長(zhǎng)范圍為100nm~400nm。

3.如權(quán)利要求1所述的一種新型柵極圖形尺寸收縮方法，其特征在于：所述步驟（2）中使用的紫外光光強(qiáng)10~100mW/cm²。

4.如權(quán)利要求1所述的一種新型柵極圖形尺寸收縮方法，其特征在于：所述步驟（3）中加熱板加熱的溫度范圍為40～110℃。