[發明專利]一種熱板溫度控制方法無效
| 申請號： | 201210014982.0 | 申請日： | 2012-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN102541119A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發明（設計）人： | 何偉明;朱治國 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G05D23/22 | 分類號： | G05D23/22 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 溫度 控制 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種熱板溫度控制方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟S1：設置一包含有至少兩個加熱片的熱板，且對應每個加熱片設置熱電偶；
步驟S2：記錄每個熱電偶的位置信息，并根據工藝需求設置每個熱電偶的預定溫度；
步驟S3：進行工藝時，將每個熱電偶反饋回的實時溫度與對應熱電偶預定溫度對比進行溫度調控。
2.根據權利要求1所述的熱板溫度控制方法，其特征在于，加熱片之間進行無缺損拼合構成熱板，以覆蓋所要加熱的區域。
3.根據權利要求1或2所述的熱板溫度控制方法，其特征在于，加熱片的形狀為多邊形或同心圓環形狀。
4.根據權利要求1或2所述的熱板溫度控制方法，其特征在于，每個加熱片進行獨立的溫控。
5.根據權利要求1所述的熱板溫度控制方法，其特征在于，熱電偶可移動的設置在加熱片上。
6.根據權利要求1、4或5所述的熱板溫度控制方法，其特征在于，熱電偶成矩陣式分布。
7.根據權利要求6所述的熱板溫度控制方法，其特征在于，熱電偶分布采用矩陣軸為6*6或7*7。
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