[發明專利]圖形化襯底專用藍寶石襯底片加工工藝

有效

• 申請號: 201210014522.8
• 申請日: 2012-01-18
• 公開（公告）號: CN103213061A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 張衛興
• 申請（專利權）人: 張衛興
• 主分類號: B24B37/07
• 分類號: B24B37/07
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 顧進

1.一種圖形化襯底專用藍寶石襯底片加工工藝，包括以下步驟：

????A倒角：將藍寶石襯底片邊緣修整成圓弧狀；

B用規格為W14~W20的碳化硼對藍寶石襯底片進行雙面粗研磨；

C用超聲波清洗機對藍寶石襯底片進行清洗；

D用規格為W5~W7的碳化硼對藍寶石襯底片進行雙面細研磨；

E用超聲波清洗機對藍寶石襯底片進行清洗，并將藍寶石襯底片烘干；

F對藍寶石襯底片進行退火，包括以下步驟：

F1將藍寶石襯底片豎放入電加熱爐并加以固定；

F2第一次升溫：電加熱爐升溫至300℃~500℃，恒溫10~60分鐘；

F3第二次升溫：電加熱爐升溫至700℃~900℃，恒溫10~60分鐘；

F4第三次升溫：電加熱爐升溫至1200℃~1550℃，恒溫60~240分鐘；

F5第一次降溫：電加熱爐降溫至700℃~900℃，恒溫10~60分鐘；

F6第二次降溫：電加熱爐降溫至300℃~500℃，恒溫10~60分鐘；

F7第三次降溫：關閉電加熱爐，使其自然冷卻；

G對藍寶石襯底片正面進行單面研磨；

H用超聲波清洗機對藍寶石襯底片進行清洗；

I對藍寶石襯底片正面進行單面粗拋光；

J對藍寶石襯底片正面進行單面精拋光；

K用超聲波清洗機對藍寶石襯底片進行清洗。

2.根據權利要求1所述的圖形化襯底專用藍寶石襯底片加工工藝，其特征在于所述步驟G包括：

G1在雙面研拋機的下磨盤表面粘貼一片相同大小、規格為W180的碳化硅片；

G2在雙面研拋機的下磨盤上安裝相互嚙合的內齒圈、外齒太陽輪和一塊以上開有一個以上通孔的帶有外齒的游星盤，將藍寶石襯底片放在通孔中；

G3在所述游星盤上設置壓塊，所述壓塊向游星盤中的藍寶石襯底片施加壓力值為50~250g/cm²，所述壓塊與游星盤之間還包括一個以上的緩沖墊，所述緩沖墊與所述壓塊之間還包括固定層；

G4啟動雙面研拋機，上磨盤始終保持與下磨盤不接觸的狀態，研磨過程中加磨料和冷卻水，磨料選用規格為W3.5~W5的碳化硼。

3.根據權利要求1或2所述的圖形化襯底專用藍寶石襯底片加工工藝，其特征在于所述步驟I包括：

I1在雙面研拋機的下磨盤表面粘貼厚度為0.5~1毫米的聚氨酯拋光皮，拋光皮的直徑與磨盤的相同；

I2在雙面研拋機的下磨盤上安裝相互嚙合的內齒圈、外齒太陽輪和一塊以上開有一個以上通孔的帶有外齒的游星盤，將藍寶石襯底片放在通孔中；

I3在所述游星盤上設置壓塊，所述壓塊向游星盤中的藍寶石襯底片施加的壓力值為50~250g/cm²，所述壓塊與游星盤之間還包括一個以上的緩沖墊，所述緩沖墊與所述壓塊之間還包括固定層；

I4啟動研拋機，上磨盤始終保持與下磨盤不接觸的狀態，下磨盤轉速為12~60?rpm，拋光過程中加二氧化硅拋光液，拋光液溫度為22℃~45℃，PH值為10~11.5，流量為120~600ml/min。

4.根據權利要求1所述的圖形化襯底專用藍寶石襯底片加工工藝，其特征在于所述步驟G包括：

G1在雙面研拋機的上、下磨盤表面各粘貼一片相同大小、粒度為W180的碳化硅片；

G2在雙面研拋機的下磨盤上安裝相互嚙合的內齒圈、外齒太陽輪和一塊以上開有一個以上通孔的帶有外齒的游星盤，將藍寶石襯底片放在通孔中；

G3將兩個藍寶石襯底片的背面用粘合劑對粘在一起，或者將一個以上的藍寶石襯底片的背面用粘合劑粘貼在載物盤的上表面和/或下表面上，所述粘合劑耐受溫度≥80℃；

G4蓋上上磨盤，啟動雙面研拋機，研磨過程中加磨料和冷卻水，磨料選用規格為W3.5~W5的碳化硼。