[發明專利]基板成膜檢查裝置

無效

• 申請號: 201210013362.5
• 申請日: 2012-01-13
• 公開（公告）號: CN103134806A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 李淳鐘;禹奉周;樸炳澯
• 申請（專利權）人: 塞米西斯科株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01B11/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星

1.一種基板成膜檢查裝置，其特征在于，包括：

檢查臺；

照明模塊，布置于所述檢查臺的下端，以用于當涂布有成膜的基板經過所述檢查臺時向所述基板照射光源；

相機模塊，布置于所述照明模塊的上端，以用于當從所述照明模塊向基板照射光源時，拍攝所述基板的表面和橫向部邊緣以及縱向部邊緣；以及

檢查單元，控制所述照明模塊和所述相機模塊的動作，并從由所述相機模塊拍攝的圖像信息檢查涂布于基板表面的成膜與基板的橫向部邊緣以及縱向部邊緣的距離是否分別為正常范圍內的距離。

2.如權利要求1所述的基板成膜檢查裝置，其特征在于，所述相機模塊為用于以行掃描方式對移動的基板的表面和橫向部邊緣以及縱向部邊緣進行拍攝的行掃描相機。

3.如權利要求1所述的基板成膜檢查裝置，其特征在于，所述照明模塊為氙氣燈、鹵素燈、高頻熒光燈、發光二極管照明器中的任意一個。

4.如權利要求1所述的基板成膜檢查裝置，其特征在于，所述檢查單元搭載有檢查程序，該檢查程序用于從由相機模塊拍攝的圖像信息計算出涂布于基板表面的成膜與基板的橫向部邊緣以及縱向部邊緣的距離之后，將其計算值與正常范圍基準值進行比較計算，以檢查是否正常或歪斜不良。

5.如權利要求4所述的基板成膜檢查裝置，其特征在于，所述檢測單元內已儲存有針對涂布于所述基板表面的成膜與基板的橫向部邊緣以及縱向部邊緣的距離的正常范圍基準值。

6.如權利要求5所述的基板成膜檢查裝置，其特征在于，涂布于所述基板表面的成膜與基板的橫向部邊緣的距離通過對從圖像信息測定的成膜與橫向部邊緣之間的像素數乘以每像素的基準長度而算出，

涂布于所述基板表面的成膜與基板的縱向部邊緣的距離通過對從圖像信息測定的成膜與縱向部邊緣之間的像素數乘以每像素的基準長度而算出。