[發明專利]單元式濺射抽氣模塊

無效

• 申請號: 201210013235.5
• 申請日: 2012-01-17
• 公開（公告）號: CN103205725A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 施玉安
• 申請（專利權）人: 上海北玻鍍膜技術工業有限公司;上海北玻玻璃技術工業有限公司;洛陽北方玻璃技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/34;C03C17/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 胡美強;楊東明

技術領域

本發明涉及一種單元式濺射抽氣模塊，特別是一種工藝井位靈活互換的玻璃連續鍍膜設備的單元式濺射抽氣模塊。

背景技術

隨著經濟的發展以及人們生活水平的提高，社會對工業的各個行業提出了更高的要求，其中對于硅酸鹽行業而言，玻璃的鍍膜標準也隨之越來越高。鍍膜玻璃按產品的不同特性，可分為以下幾類：熱反射玻璃、低輻射玻璃、導電膜玻璃等。熱反射玻璃一般是在玻璃表面鍍一層或多層諸如鉻、鈦或不銹鋼等金屬或其化合物組成的薄膜，使產品呈豐富的色彩，對于可見光有適當的透射率，對紅外線有較高的反射率，對紫外線有較高吸收率，因此，也稱為陽光控制玻璃，主要用于建筑和玻璃幕墻；低輻射玻璃是在玻璃表面鍍由銀、銅或錫等金屬或其化合物組成的薄膜，產品對可見光有較高的透射率，對紅外線有很高的反射率，具有良好的保溫隔熱性能，主要用于建筑和汽車、船舶等交通工具，由于膜層強度較差，一般都制成中空玻璃使用；導電膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化銦錫等導電薄膜，可用于玻璃的加熱、除霜、除霧以及用作液晶顯示屏等。

鍍膜玻璃的生產方法很多，主要有離子濺射法、真空蒸發法、化學氣相沉積法以及溶膠-凝膠法等。濺射鍍膜玻璃利用濺射技術可以設計制造多層復雜膜系，可在白色的玻璃基片上鍍出多種顏色，膜層的耐腐蝕和耐磨性能較好，是目前生產和使用最多的產品之一。真空蒸發鍍膜玻璃的品種和質量與濺射鍍膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被濺射法取代。化學氣相沉積法是在浮法玻璃生產線上通入反應氣體在灼熱的玻璃表面分解，均勻地沉積在玻璃表面形成鍍膜玻璃。該方法的特點是設備投入少、易調控，產品成本低、化學穩定性好，可進行熱加工，是目前最有發展前途的生產方法之一。溶膠-凝膠法生產鍍膜玻璃工藝簡單，穩定性也好，不足之處是產品光透射比太高，裝飾性較差。

對于離子濺射法而言，通常是在高壓1500V的作用下，殘留的氣體分子被電離，形成等離子體，陽離子在電場加速下轟擊金屬靶，使金屬原子濺射到樣品的表面，形成導電膜。目前，真空容器內，一種鍍膜玻璃通常是由一系列不同膜層材料構成，而且整個鍍膜過程是在鍍膜設備中一次連續完成的。在傳統的真空鍍膜腔體中，泵井位固定在鍍膜腔體上，其結構與陰極井位的結構完全不同，泵井位與陰極井位呈單一的交替排布模式。隨著鍍膜玻璃技術的不斷發展，鍍膜產品的種類和膜系結構也變得更加多樣化。技術人員有時需要調整泵井位與陰極井位的順序，傳統的濺射抽氣模塊無法根據鍍膜產品和膜系的需要實現工藝井位的靈活互換，這就為玻璃鍍膜工藝的發展帶來滯礙。本領域技術人員致力于提供一種可以實現泵井位與陰極井位靈活互換的單元式濺射抽氣模塊。

發明內容

本發明要解決的技術問題是為了克服現有玻璃鍍膜設備中的濺射抽氣模塊無法根據鍍膜產品和膜系的需要實現工藝井位的靈活互換的技術問題，提供一種單元式濺射抽氣模塊。

本發明是通過下述技術方案來解決上述技術問題的：

一種單元式濺射抽氣模塊，包括鍍膜腔體和蓋板，其特點在于，所述鍍膜腔體呈長方體，中間設置多個將腔體分割成多個獨立井位單元的隔板，所述鍍膜腔體還包括腔體頂板，所述腔體頂板開有多個用于放置蓋板的相同形狀的矩形缺口，每個蓋板以密封的方式設置在所述缺口上。

較佳地，所述蓋板為泵蓋板或空蓋板或陰極蓋板。

較佳地，所述泵蓋板為下端開口的長方體，內部設置真空泵。

較佳地，所述陰極蓋板為長方體，所述蓋板下方固定設置靶材。

較佳地，所述隔板設置玻璃傳輸通道。

較佳地，每個所述獨立井位單元側面設置觀察窗和/或連接法蘭。

本發明中，上述優選條件在符合本領域常識的基礎上可任意組合，即得本發明各較佳實施例。

本發明的積極進步效果在于：本單元式濺射抽氣模塊結構簡單，各個不同井位互換時操作方便。

附圖說明

圖1為本發明的單元式濺射抽氣模塊的示意圖，其中泵蓋板和陰極蓋板設置在鍍膜腔體上方。

圖2為圖1所示單元式濺射抽氣模塊的俯視圖，其中泵蓋板和陰極蓋板已隱去。

具體實施方式

本發明的實施例將參照附圖進行說明。在說明書附圖中，具有類似結構或功能的元件或裝置將用相同的元件符號表示。附圖只是為了便于說明本發明的各個實施例，并不是要對本發明進行窮盡性的說明，也不是對本發明的范圍進行限制。