[發明專利]彩色濾光片制造工藝中的顯影排液的處理方法

無效

• 申請號: 201210013125.9
• 申請日: 2012-01-13
• 公開（公告）號: CN102608878A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 山田聡;佐藤茂
• 申請（專利權）人: 栗田工業株式會社
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32;G03F7/30;C02F9/10;C02F9/14
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮

技術領域

本發明涉及一種彩色濾光片制造工藝中的顯影排液的處理方法。

背景技術

至今為止，在彩色濾光片的制造中，利用分散了顏料的光阻劑進行光刻的圖案形成法，即彩色光阻劑法為人們所知。

而且，在彩色濾光片制造工藝中的彩色光阻劑顯影過程中，一般使用含有顏料、堿溶性樹脂(堿溶性聚合物)、光聚合成分(單體)以及光聚合引發劑、分散劑、溶劑等的彩色光阻劑液。

例如，彩色濾光片處理過程的一般制作方法包括(例如：參照非專利文獻1)：在基板上形成黑色矩陣(BM)后，將該彩色光阻劑液(例如紅色系)涂布在形成了BM的基板上而形成膜的工序；經由光掩膜進行圖案曝光后進行UV硬化的曝光工序；用顯影液將彩色光阻劑的不要部分除去后，進行所謂烘烤硬化的顯影/烘烤工序的膜形成/曝光/顯影/烘烤工序，繼而使用其它色系的彩色光阻劑液，反復進行該工序，最終形成RGB三色，通過濺射法形成透明導電(ITO)膜。

另外，除了在玻璃基板上進行鉻蒸鍍后通過蝕刻處理來形成圖案的方法以外，還有和彩色光阻劑相同地，在使用了黑色顏料的光阻劑液中通過光刻法來形成BM圖案的方法。進而，在色分解濾光片中除了RGB三色以外，還有試圖通過擴大色域范圍的高性能化的RGBY四色的濾光片等也已經實現了實用化，也有CMY系等的色分解濾光片。

在任何情況下，在這些顯影過程中，未曝光部分的彩色光阻劑(未硬化的彩色光阻劑)經由以高濃度的非離子表面活性劑與堿性成分為主體成分的顯影液被洗脫。即，此時會發生主要含有未硬化的彩色光阻劑和顯影液的彩色濾光片顯影排液。

可是，作為現有技術的彩色濾光片顯影排液的處理方法，例如可以列舉：凝聚沉淀法或活性炭法。

另外，提出了如下方案(專利文獻4)：在進行光刻法時將基板洗凈后，在將含有四烷基化合物和少量光致抗蝕劑的洗凈排液的pH值保持在5以上、且不滿9的條件下，加壓提供到反滲透膜裝置的方法。

另外，也提出了如下方案(專利文獻5)：將含有光致抗蝕劑的排液的pH值調整到酸性，然后，將pH值調整到適合于光致抗蝕劑聚集沉淀的堿性，再調整到中性使光致抗蝕劑聚集沉淀，進行膜處理的方法。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2009-128518號公報

專利文獻2：日本特開2010-102346號公報

專利文獻3：日本特開2008-246372號公報

專利文獻4：日本特開2001-276824號公報

專利文獻5：日本特開2006-255668號公報

非專利文獻

非專利文獻1：最先端彩色濾光片處理技術和化學，責任編輯市村國宏，CMC株式會社出版，2006年4月1日第二版發行，P1～300

發明內容

發明要解決的課題

在彩色濾光片的顯影排液中，富含有多種來源于光致抗蝕劑的顏料或各種化合物、以及來源于顯影液的表面活性劑。因此，在該顯影排液中，因顏料染色(色度、濁度、外觀)、或來源于表面活性劑和光致抗蝕劑的有機物具有非常高的濃度。

以該彩色濾光片的顯影排液的排放和回收為目的，為了減少這些物質的濃度，通過凝聚沉淀處理將染色成分除去，或通過活性炭處理將有機物除去。

可是，由于顏料的分散性非常高，凝聚沉淀處理非常困難(參照后述的實施例〔表6〕)。另外，由于表面活性劑的濃度非常高，活性炭的消耗量非常大。因此，既有經濟上的壓力，又有操作運轉不穩定的問題。

還有，在反滲透膜或NF膜等的膜過濾法中，在對上述顏料處理或表面活性劑處理進行得不充分的狀態下，由于產生膜的閉塞，不能實現穩定操作運轉。

由此，本發明的目的在于提供一種處理方法，其能夠從濾光片的顯影排液中，有效地將彩色光阻劑和表面活性劑分離除去，能夠改善操作運轉的穩定性和經濟性。

解決課題的方法

本發明人為了解決上述課題，進行深入研究的結果發現，如果對彩色濾光片顯影排液在加熱到指定溫度以上的狀態、且使pH值調整在7以下的狀態下，進行固液分離，不但能使分離后處理水中的彩色光阻劑減少，還能減少處理前的彩色濾光片顯影排液中含有的表面活性劑或堿溶性聚合物。

即、本發明提供一種濾光片制造工序中的顯影排液的處理方法，其特征在于，該方法具有：將該顯影排液加熱到50℃以上的加熱工序、和將該將顯影排液的pH值調整到7以下的pH值調整工序，在對該顯影排液進行加熱和在pH值調整后的狀態下，進行固液分離。