[發明專利]一種改進型的基于聚酰亞胺的濕度傳感器在審
| 申請號： | 201210013098.5 | 申請日： | 2012-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN103207215A | 公開（公告）日： | 2013-07-17 |
| 發明（設計）人： | 寧文果;羅樂;徐高衛;李珩 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | G01N27/22 | 分類號： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 改進型 基于 聚酰亞胺 濕度 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種改進型基于聚酰亞胺的濕度傳感器，其特征在于在電極板之間涂覆聚酰亞胺薄膜作為濕度敏感材料，然后在聚酰亞胺薄膜上利用光刻技術制作空腔。
2.按權利要求1所述的濕度傳感器，其特征在于所述的空腔是沿電板方向制作單個空腔。
3.按權利要求1所述的濕度傳感器，其特征在于所述的空腔是沿電板方向制作多個空腔。
4.按權利要求1所述的濕度傳感器，其特征在于所述的空腔是垂直電板方向制作多個空腔。
5.按權利要求1所述的濕度傳感器，其特征在于所述的空腔是在電極板之間的聚酰亞胺中制作多個獨立的空腔。
6.按權利要求1所述的濕度傳感器，其特征在于所述的空腔是在電極板之間的聚酰亞胺中保留多個獨立的聚酰亞胺塊實體。
7.按權利要求3-6中任一項所述的濕度傳感器，其特征在于：
①多個空腔的數量為2個或2個以上；
②空腔的數量越多，空腔的開口越小，則濕度傳感器性能越好。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院上海微系統與信息技術研究所，未經中國科學院上海微系統與信息技術研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210013098.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
