[發明專利]調整裝置、激光加工裝置和調整方法

無效

• 申請號: 201210012785.5
• 申請日: 2012-01-16
• 公開（公告）號: CN102601519A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 山崎隆一
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/04;B23K26/06;G03B15/03
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種調整裝置，對激光加工裝置進行控制，該激光加工裝置具備：光學系統，其用于將從激光光源射出的激光引導到載置了被加工物的臺上；空間調制單元，其被設置在從上述激光光源到上述被加工物的光路上，由多個排列的微小可動元件構成以按照希望的輸入圖案向上述被加工物照射上述激光；以及照射單元，其向上述被加工物照射通過上述空間調制單元成形為上述輸入圖案的形狀的上述激光，該調整裝置的特征在于，具備：

校準圖案照射單元，其向感光體照射通過上述空間調制單元成形為任意的校準圖案的形狀的上述激光；

被加工物攝像單元，其拍攝通過上述校準圖案照射單元照射了上述激光的上述感光體的圖像；

偏離值計算單元，其計算通過上述被加工物攝像單元拍攝到的圖像的激光痕跡的形狀與上述校準圖案的形狀之間的偏離值；

變換參數計算單元，其根據由上述偏離值計算單元計算出的偏離值，計算用于進行校正以使上述激光在上述被加工物上的形狀與上述輸入圖案的形狀一致的變換參數；以及

調整單元，其根據由上述變換參數計算單元計算出的變換參數，調整按照上述輸入圖案向上述被加工物進行的激光照射。

2.根據權利要求1所述的調整裝置，其特征在于，

上述校準圖案照射單元通過上述空間調制單元使引導光成形為上述校準圖案的形狀并照射到上述感光體，其中，為了確認上述激光是否按照上述輸入圖案的形狀照射到上述被加工物而將該引導光經由上述光學系統照射到上述被加工物，

上述被加工物攝像單元拍攝通過上述校準圖案照射單元照射了上述引導光的上述感光體的圖像，

上述偏離值計算單元計算通過上述被加工物攝像單元拍攝到的圖像的引導光痕跡的形狀與上述激光痕跡的形狀之間的偏離值，

上述變換參數計算單元根據上述激光痕跡的形狀與上述校準圖案的形狀之間的偏離值以及上述引導光痕跡的形狀與上述激光痕跡的形狀之間的偏離值，計算上述變換參數。

3.根據權利要求1所述的調整裝置，其特征在于，

還包括校準圖案制作單元，該校準圖案制作單元根據作為上述感光體而形成了電路圖案的被加工物的表面的信息制作上述校準圖案，使得通過上述校準圖案照射單元照射的上述激光照射到上述表面中的除上述電路圖案部分以外的部分。

4.根據權利要求3所述的調整裝置，其特征在于，

上述校準圖案制作單元以避開作為上述表面的信息的電路圖案或缺陷的方式制作校準圖案。

5.根據權利要求1所述的調整裝置，其特征在于，

還包括顯示單元，該顯示單元將被照射通過上述調整單元調整后的激光的區域重疊到由上述被加工物攝像單元拍攝到的上述被加工物的圖像上來進行顯示。

6.一種激光加工裝置，其特征在于，具備：

光學系統，其用于將從激光光源射出的激光引導到載置了被加工物的臺上；

空間調制單元，其被設置在從上述激光光源到上述被加工物的光路上，由多個排列的微小可動元件構成以按照希望的輸入圖案向上述被加工物照射上述激光；

試射單元，其向感光體照射通過上述空間調制單元成形為上述輸入圖案的形狀的上述激光；

被加工物攝像單元，其拍攝通過上述試射單元照射了上述激光的上述感光體的圖像；

偏離值計算單元，其計算通過上述被加工物攝像單元拍攝到的圖像的激光痕跡的形狀與上述輸入圖案的形狀之間的偏離值；

變換參數計算單元，其根據由上述偏離值計算單元計算出的偏離值，計算用于進行校正以使上述激光在上述被加工物上的形狀與上述輸入圖案的形狀一致的變換參數；以及

調整單元，其根據由上述變換參數計算單元計算出的變換參數，調整按照上述輸入圖案向上述被加工物進行的激光照射。