[發(fā)明專(zhuān)利]分布式金屬布線有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210011810.8 | 申請(qǐng)日： | 2012-01-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102623436A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-08-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蕭有呈;陳炎輝;陳蓉萱;周紹禹;田麗鈞;廖宏仁 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L23/538 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L23/538;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京德恒律師事務(wù)所 11306 | 代理人： | 陸鑫;房嶺梅 |
| 地址： | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 分布式 金屬 布線 | ||
1.一種半導(dǎo)體器件，包括：
有源區(qū)域，位于基板中；
第一金屬層，與所述基板相接觸，所述第一金屬層包括至少一條第一導(dǎo)線；以及
第二金屬層，位于所述第一金屬層上方，所述第二金屬層具有第一并聯(lián)線的分布式布局，其中，所述第一并聯(lián)線中的至少兩條單獨(dú)的線與所述第一導(dǎo)線相接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件，進(jìn)一步包括：第三金屬層，位于所述第二金屬層上方，并且與所述第二金屬層相接觸，所述第三金屬層包括第二多條并聯(lián)線，其中，所述第二多條并聯(lián)線中的至少一條與所述第一并聯(lián)線中的兩條單獨(dú)的線相接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件，其中，所述第三金屬層中的所述第二多條并聯(lián)線中的每一條的寬度都相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件，其中，所述第一并聯(lián)線包括至少一條第一并聯(lián)線、一條第二并聯(lián)線、和一條第三并聯(lián)線，所述一條第三并聯(lián)線位于所述一條第一并聯(lián)線和所述一條第二并聯(lián)線之間，其中，所述一條第三并連線所連接到的源與所述一條第一并聯(lián)線或者所述一條第二并聯(lián)線所連接到的源不同。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體器件，其中，所述一條第一并聯(lián)線和所述一條第二并聯(lián)線是Vss線，所述一條第三并聯(lián)線是信號(hào)線。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體器件，其中，所述第一并聯(lián)線進(jìn)一步包括：一條第四并聯(lián)線，所述一條第四并聯(lián)線與所述一條第二并聯(lián)線分別位于所述一條第三并聯(lián)線的兩側(cè)，所述一條第四并聯(lián)線所連接到的源與所述一條第一并聯(lián)線、所述一條第二并聯(lián)線、和所述一條第三并聯(lián)線所連接到的源不同。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件，其中，所述第一并聯(lián)線的分布式布局的間距相同。
8.一種半導(dǎo)體器件，包括：
基板的有源區(qū)域；
第一金屬層，位于所述有源區(qū)域上方，并且與所述有源區(qū)域相接觸；以及
第二金屬層，位于所述第一金屬層上方，所述第二金屬層包括：第一導(dǎo)線，連接至第一源；第二導(dǎo)線，連接至與所述第一源不同的第二源；以及第三導(dǎo)線，連接到所述第一源，其中，所述第一導(dǎo)線、所述第二導(dǎo)線以及所述第三導(dǎo)線并聯(lián)連接，并且其中，所述第二導(dǎo)線位于所述第一導(dǎo)線和所述第三導(dǎo)線之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體器件，其中，所述第一導(dǎo)線和所述第三導(dǎo)線都電連接到所述有源區(qū)域的第一區(qū)域。
10.一種制造半導(dǎo)體器件的方法，所述方法包括：
在基板的有源區(qū)域上形成第一金屬層，所述第一金屬層與所述基板的有源區(qū)域相接觸，所述第一金屬層包括連續(xù)的第一導(dǎo)電區(qū)域；
形成第一接觸插頭和第二接觸插頭，與所述第一導(dǎo)電區(qū)域相接觸；以及
在所述第一接觸插頭和所述第二接觸插頭上方形成第二金屬層，所述第二金屬層包括：第一組并聯(lián)線，連接到第一源；以及第二組并聯(lián)線，連接到第二源，其中，所述第一組并聯(lián)線和所述第二組并聯(lián)線相互交錯(cuò)，并且其中，所述第一組并聯(lián)線中的第一并聯(lián)線連接到所述第一接觸插頭，所述第一組并聯(lián)線中的第二并聯(lián)線連接到所述第二接觸插頭。
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