[發(fā)明專利]層疊封裝結(jié)構(gòu)和系統(tǒng)級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的封裝和功能測(cè)試

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210011542.X
• 申請(qǐng)日: 2012-01-13
• 公開（公告）號(hào): CN102983106A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉浩君;莊其達(dá);蕭景文;陳承先;郭正錚;陳志華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/98
• 分類號(hào): H01L21/98;H01L21/66;H01L25/065
• 代理公司: 北京德恒律師事務(wù)所 11306
• 代理人: 陸鑫;房嶺梅

1.一種方法，包括：

將多個(gè)底部單元放置在夾具上，其中，沒有將所述多個(gè)底部單元切割開，并且形成集成組件，以及其中，所述多個(gè)底部單元中的每個(gè)包括：封裝基板和接合到所述封裝基板的管芯；

在所述多個(gè)底部單元上放置多個(gè)上部組件疊層，其中焊球位于所述多個(gè)上層組件和所述多個(gè)底部單元之間；以及

實(shí)施回流，從而通過所述焊球連接所述多個(gè)上部組件疊層和所述多個(gè)底部單元中的相應(yīng)的一些。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：在將所述多個(gè)上部組件疊層放置在所述多個(gè)底部單元上之前，對(duì)于所述多個(gè)底部單元實(shí)施第一功能測(cè)試。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括，在實(shí)施所述回流的步驟之后，將所述多個(gè)底部單元和所述多個(gè)上部組件疊層分成多個(gè)封裝件，其中所述多個(gè)封裝件中的每個(gè)包括：所述多個(gè)底部單元中的一個(gè)和所述多個(gè)上部組件疊層中的一個(gè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，進(jìn)一步包括，在所述切割步驟之后，實(shí)施第二功能測(cè)試來測(cè)試所述多個(gè)封裝件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述集成組件包括：封裝基板條，所述封裝基板條包括多個(gè)封裝基板，以及其中，所述多個(gè)封裝基板形成陣列。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，進(jìn)一步包括，在將所述多個(gè)底部單元放置在所述夾具上之前，將多個(gè)管芯接合到所述封裝基板條，其中所述集成組件包括：與所述封裝基板條相同數(shù)量的封裝基板。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述多個(gè)底部單元中的每個(gè)均包括焊球，以及其中將所述多個(gè)底部單元放置在所述夾具上時(shí)，將焊球設(shè)置為面對(duì)所述夾具。

8.一種方法，包括：

將多個(gè)管芯接合到封裝基板條上，以形成包括多個(gè)底部單元的底部封裝組件，其中所述封裝基板條包括其中的多個(gè)封裝基板，以及其中所述多個(gè)底部單元中的每個(gè)都包括所述多個(gè)封裝基板中的一個(gè)以及多個(gè)管芯中的一個(gè)；

對(duì)于所述底部封裝組件實(shí)施第一功能測(cè)試；

在實(shí)施所述第一功能測(cè)試的步驟之后，在夾具上放置所述底部封裝組件；

將多個(gè)上部組件疊層放置在所述底部封裝組件上，其中將所述多個(gè)上部組件疊層中的每個(gè)都放置在所述多個(gè)底部單元中的一個(gè)上，以及

實(shí)施回流以連接所述多個(gè)上部組件疊層和所述多個(gè)底部單元。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中在所述第一功能測(cè)試的步驟中識(shí)別所述多個(gè)底部單元中不合格的底部單元，以及其中每次都進(jìn)行所述回流，所述多個(gè)底部單元中不合格的底部單元沒有放置在其上的上部組件疊層。

10.一種器件，包括：

封裝基板條，包括多個(gè)封裝基板，其中，每個(gè)所述封裝基板都包括：在相對(duì)面上的金屬部件；以及金屬連接件，電連接相對(duì)面上的所述金屬部件；

多個(gè)管芯，位于并接合到所述多個(gè)封裝基板上方，其中，將所述多個(gè)管芯中的每個(gè)都接合到所述多個(gè)封裝基板中的一個(gè)上；以及

多個(gè)上部組件疊層，位于并接合到所述多個(gè)封裝基板上方，其中，將所述多個(gè)上部組件疊層中的每個(gè)接合到所述多個(gè)封裝基板中的相應(yīng)的下層的一個(gè)上。