[發明專利]高介電常數復合氧化鋁膜的生產方法

有效

• 申請號: 201210010959.4
• 申請日: 2012-01-13
• 公開（公告）號: CN102568858A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 徐友龍;杜顯鋒;王杰;毛勝春
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: H01G9/045
• 分類號: H01G9/045
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 陸萬壽

1.高介電常數復合氧化鋁膜的生產方法，其特征在于：

1)前驅體膠配置：采用濕化學方法將可溶性有機金屬鹽與金屬無機鹽按金屬離子摩爾比為1∶1的比例混合得混合物，然后將混合物加入到螯合劑中得混合溶液，其中混合物中金屬離子∶螯合劑＝1∶5～20的摩爾比，再用水調節混合溶液金屬離子的濃度為0.001～0.5mol/L，同時調節pH值為0～5得前驅體膠；

2)鋁箔表面改性：將腐蝕鋁箔浸入到濃度為0.001～0.1mol/L，溫度為20～80℃的硅烷、硫醇、磷脂、磺酸鹽、聚乙二醇、聚乙烯醇、吐溫或司班表面改性劑溶液中，浸泡60～600S；

3)鋁箔表面涂覆：將表面改性后的腐蝕鋁箔浸入到溫度為20～80℃的前驅體膠中，浸泡10～300S；

4)前驅體水解：將表面涂覆有前驅體的鋁箔浸入到水解池中，水解10～300S；

5)前驅體熱處理：將鋁箔以0.3～3m/min的給進速度送入高溫爐中，以溫度梯度為20～150℃/m自室溫升至300～630℃，在300～630℃的恒溫熱處理60～600S；

6)納米復合：將熱處理后的鋁箔浸入到質量濃度為3～10％、溫度為60～95℃的己二酸銨或硼酸中，加載6～600V電壓，10～100A/m²電流進行陽極氧化，形成納米復合介質膜；

7)耐水合處理：將陽極氧化后的鋁箔浸入到質量濃度為0.05～10％、溫度為20～90℃的磷酸、磷酸二氫銨、磷鉬酸銨或正硅酸乙酯溶液中，浸泡10～600S，再重復步驟6)納米復合得到高介電常數復合氧化鋁膜。

2.根據權利要求1所述的高介電常數復合氧化鋁膜的生產方法，其特征在于：所述的可溶性有機金屬鹽為Ti、Ta、Zr、Nb的正丁醇鹽、異丙醇鹽、辛酸鹽、庚酸鹽中的一種或兩種。

3.根據權利要求1所述的高介電常數復合氧化鋁膜的生產方法，其特征在于：所述的金屬無機鹽為Ca、Ba、Bi、Sr的醋酸鹽、草酸鹽、硝酸鹽中的一種或兩種。

4.根據權利要求1所述的高介電常數復合氧化鋁膜的生產方法，其特征在于：所述的螯合劑為乙二胺四乙酸、乙酰丙酮、乳酸、尿素中一種或二種。