[發明專利]蒸鍍用狹長溝槽掩模板

無效

• 申請號: 201210010699.0
• 申請日: 2012-01-16
• 公開（公告）號: CN103205686A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 魏志凌;高小平;鄭慶靚
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
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技術領域

本發明涉及OLED制造過程中所需的蒸鍍用狹長溝槽掩模板。

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背景技術

一般地，OLED器件為一種發射顯示器件，其通過電激發熒光有機化合物發光。依據可以排列為矩陣的N×M像素的驅動方式，OLED器件可以看作無源矩陣OLED（PMOLED）器件或有源矩陣OLED（AMOLED）器件。AMOLED器件與PMOLED器件相比，由于其低功耗和高分辨率，適合于大尺寸顯示器。

依據光從有機化合物發出的方向，OLED器件可為頂發射OLED器件、底發射OLED器件或頂和底發射OLED器件。頂發射OLED器件在與設置有像素的襯底的相反方向上發光且與底發射OLED不同，其具有高開口率（Aperture?ratio）。

對于既包含用于主要顯示窗口的頂發射型又包含用于次要窗口的底發射型OLED器件的需求正在增長，因為此器件可以被小型化且其消耗很少的功率。這樣的OLED器件可以主要用于包括外部次要顯示窗口和內部主要顯示窗口的移動電話。次要顯示窗口消耗的功率少于主要顯示窗口，且當移動電話處于呼叫等待狀態時它可以保持開的狀態，從而允許在任何時候觀察接收狀態、電池余量、時間等。

有機電致發光二極管（Organic?Light-Emitting?Diode，OLED）是在一定電場驅動下，電子和空穴分別從陰極和陽極注入到陰極修飾層和空穴注入層，并在發光層中相遇，形成的激子最終導致可見光的發射。對于有機電致發光器件，我們可按發光材料將其分成兩種：小分子OLED和高分子OLED。

自從美國柯達公司C.W.Tang首先報道了雙層結構的高效率、高亮度的有機電致發光薄膜器件以來，引起了人們極大的關注，因其自主發光，驅動電壓低、發光亮度高、色彩豐富以及工藝簡單，可制成超薄、大面積柔性器件等優點而成為當前平板顯示領域的研究熱點。

離子液體在室溫或室溫附近溫度下為液態，事一種低熔點的有機鹽，完全由離子組成，其組成離子一般是有機陽離子和無機陰離子。離子液體有著無色、無嗅、低粘度、容易控制、寬相溫度、幾乎不存在氣相壓、熱穩定、高電導率以及較寬的電化學穩定窗口等特別的性質，并且通過陰陽離子的設計可以調節離子溶液對無機物、水、有機物及聚合物的溶解性，廣泛應用在從綠色化學化工與催化領域、功能材料、電光與光電材料、太陽能、生命科學等領域。

上述有機電致發光裝置包括第一電極、有機發光層及第二電極。制造有機發光裝置時，通過光刻法，通過腐蝕劑在ITO上構圖。光刻法再用來制備第二電極時，濕氣滲入有機發光層和第二電極之間，會顯著地縮短有機發光裝置的壽命，降低其性能。為了克服以上問題，采用蒸鍍工藝將有機發光材料沉積在基板上，形成有機發光層，該方法需配套高精度蒸鍍用狹長溝槽掩模板（也稱為蔭罩）。第二電極的制作同發光層的制作方法。

在蒸鍍過程中，隨著時間的延長，溫度也在不斷上升，高溫可達到60℃，由于蔭罩開口尺寸以微米級衡量，并且需要蒸鍍到ITO玻璃上的有機材料的厚度很薄，以納米級單位進行衡量，所以對開口尺寸精度、開口形貌以及板厚需嚴格要求。由于傳統工藝使用的蒸鍍用蔭罩的開口一般為單層的，蔭罩上的開口也無具無錐度，所以會造成有機材料顆粒的遮擋，影響蒸鍍層的均勻性，降低蒸鍍質量，增加了制造成本。

傳統工藝采用單層開口的OLED掩模板，且開口無錐度，如圖1所示，有機材料顆粒從各個角度穿過掩模板并貼附于基板上，開口1無錐度，當顆粒傾斜射入角度小于或等于θ時，這部分顆粒會碰到開口壁而被遮蔽，無法到達基板。這種現象會產生以下問題：使傾斜射入的顆粒出現部分缺失，致使輝度下降，并且在基板上不能形成希望的厚度和形狀。

一般蒸鍍用蔭罩的厚度在100μm左右，而蒸鍍的有機材料膜厚只在100nm左右，蔭罩上的開口尺寸最小可以是10μm，所以無錐度開口的側壁勢必會在蒸鍍過程中產生遮擋，但另一方面，如果只減薄蔭罩的厚度來降低有機材料的遮擋程度，又會影響蔭罩的使用壽命，因為蔭罩過薄，易變形，影響的蔭罩的使用，降低蒸鍍質量。

傳統的蒸鍍用溝槽掩模板的開口種類有三種：點狀蔭罩板（Invar-Shadow?Mask）、柵格式/狹縫蔭罩板（Aperture?Grille?Mask/Slit?Mask）、狹槽蔭罩板（Slot?Mask）。都具有如圖1開口11所述的單面無錐度的開口缺陷。