[發明專利]一種晶體爐隨爐退火裝置無效
| 申請號： | 201210010318.9 | 申請日： | 2012-01-13 |
| 公開（公告）號： | CN102758257A | 公開（公告）日： | 2012-10-31 |
| 發明（設計）人： | 高超;華偉;陳偉 | 申請（專利權）人： | 上海贏奔晶體科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/02 | 分類號： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 200127 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 晶體 爐隨爐 退火 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶體爐隨爐退火裝置，包括晶體生長爐，其特征在于：還包括一個位于晶體生長爐頂部的隨爐退火裝置，所述的隨爐退火裝置包括一個感應線圈，以及置于感應線圈內的圓柱形后感應保溫筒，還包括一個位于圓柱形后感應保溫筒上的梯形后感應保溫筒，以及一個測溫熱電偶，測溫熱電偶的端部插入圓柱形后感應保溫筒內。
2.根據權利要求1所述的一種晶體爐隨爐退火裝置，其特征在于：所述感應線圈為中頻或高頻感應線圈。
3.根據權利要求1或2所述的一種晶體爐隨爐退火裝置，其特征在于：所述感應線圈的橫截面為方形或圓形，壁厚為0.5-2mm。
4.根據權利要求1所述的一種晶體爐隨爐退火裝置，其特征在于：所述梯形后感應保溫筒的底面直徑與圓柱形后感應保溫筒的直徑相同。
5.根據權利要求1所述的一種晶體爐隨爐退火裝置，其特征在于：所述圓柱形后感應保溫筒與梯形后感應保溫筒的壁厚為0.5-3mm。
6.根據權利要求1所述的一種晶體爐隨爐退火裝置，其特征在于：所述測溫熱電偶的端部插入圓柱形后感應保溫筒內，其插入深度為10mm。
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