[發(fā)明專利]一種塑料基材上鍍鋁膜的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210009987.4
• 申請(qǐng)日: 2012-01-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102424950A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙瑋;周志文;李民英
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東志成冠軍集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/20
• 分類號(hào): C23C14/20;C23C14/08;C23C14/35
• 代理公司: 北京連城創(chuàng)新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11254
• 代理人: 劉伍堂

1.一種塑料基材上鍍鋁膜的方法，包括：

第一步:將工件經(jīng)過(guò)超聲波除油、清洗、烘干后送入磁控濺射裝置，然后抽真空至5E-3Pa；

第二步：進(jìn)行磁控濺射鍍摻鋁氧化鋅AZO薄膜，將本底抽真空至5E-3Pa，濺射氣體為氬氣，氣壓0.1Pa-0.9Pa，濺射功率2-5w/cm2，沉積時(shí)間為20——50s；

第三步：停止AZO鍍膜，關(guān)閉濺射電源，關(guān)閉工藝氣體氬氣，將鍍膜室本底真空抽至5E-3Pa；

第四步：進(jìn)行磁控濺射鍍鋁薄膜，將本底抽真空至5E-3Pa，濺射氣體為氬氣，濺射氣壓0.1Pa-0.9Pa，濺射功率2-5w/cm2，沉積時(shí)間約70——100s。

2.如權(quán)利要求1所述的一種塑料基材上鍍鋁膜的方法，其特征在于，所述的塑料基材上鍍的摻鋁氧化鋅AZO厚度為10——100nm，沉積的鋁膜厚度為60——300nm。