[發(fā)明專利]用于光刻系統(tǒng)的光能量監(jiān)測系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210009225.4
• 申請日: 2012-01-12
• 公開（公告）號: CN102566310A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何少鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G01J1/00
• 代理公司: 合肥金安專利事務(wù)所 34114
• 代理人: 王挺

1.一種用于光刻系統(tǒng)的光能量監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于：本系統(tǒng)包括光源、光傳輸組件、投影曝光組件；所述光源與光傳輸組件之間的光路和/或光傳輸組件與投影曝光組件之間的光路上設(shè)置有監(jiān)測光強的第一感光探頭，所述投影曝光組件的出射端設(shè)置有監(jiān)測光強的第二感光探頭；所述第一感光探頭和第二感光探頭的信號輸出端均與計算機相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光刻系統(tǒng)的光能量監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于：所述第一感光探頭通過第一感光探頭控制器與計算機相連，第二感光探頭通過第二感光探頭控制器與計算機相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光刻系統(tǒng)的光能量監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于：所述光傳輸組件包括沿光的傳輸方向依次設(shè)置的第一透鏡或透鏡組、分束器、第二透鏡或透鏡組；所述投影曝光組件包括沿光的投影方向依次設(shè)置的圖形發(fā)生器和第三透鏡或透鏡組；光源發(fā)出的光依次經(jīng)過第一透鏡或透鏡組、分束器、第二透鏡或透鏡組而投射至圖形發(fā)生器處，光經(jīng)由圖形發(fā)生器反射后經(jīng)過第三透鏡或透鏡組而出射至第二感光探頭處；所述第一感光探頭設(shè)置在分束器的旁側(cè)，且第一感光探頭用于監(jiān)測分束器所分出光束的光強。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于光刻系統(tǒng)的光能量監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于：本系統(tǒng)還包括載物平臺，且所述第二感光探頭設(shè)置在載物平臺上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于光刻系統(tǒng)的光能量監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于：所述第二感光探頭的位置或者載物平臺在平臺移動控制器的控制下移動使得自第三透鏡或透鏡組出射的光全部進入第二感光探頭，所述光源和平臺移動控制器均與計算機相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5任一項所述的用于光刻系統(tǒng)的光能量監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于：光刻系統(tǒng)初始工作時第一感光探頭所探測到的光強與第二感光探頭所探測到的光強之間的比值即為初始光強比值，光刻系統(tǒng)繼續(xù)工作時第一感光探頭所探測到的光強與第二感光探頭所探測到的光強之間的比值即為工作光強比值；所述計算機判斷并保存初始光強比值；并在光刻系統(tǒng)繼續(xù)工作時按照設(shè)定時間間隔定時比較初始光強比值和工作光強比值，當工作光強比值大于初始光強比值時，計算機通過光源控制器控制光源所發(fā)出光束的強度，以使第二感光探頭所探測到的光強保持恒定。