[發明專利]薄膜的制法及共蒸鍍用蒸鍍材、薄膜、薄膜片及層疊片

無效

• 申請號: 201210008509.1
• 申請日: 2012-01-12
• 公開（公告）號: CN102628158A
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: 有泉久美子;吉田勇氣;櫻井英章
• 申請（專利權）人: 三菱綜合材料株式會社
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/00;B32B9/04
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 康泉;王珍仙

技術領域

本發明涉及一種透明性、氣體遮斷性等各種特性優異的薄膜的制造方法、適合形成該薄膜的共蒸鍍用蒸鍍材、通過該方法得到的氧化物薄膜、具備該薄膜的薄膜片及層疊片。更詳細而言，涉及這些各種特性優異，尤其適合作為液晶顯示器、有機EL顯示器、等離子顯示器或太陽能電池模塊等氣體遮斷性材料的薄膜的制造方法、適合形成該薄膜的共蒸鍍用蒸鍍材、通過該方法得到的氧化物薄膜、具備該薄膜的薄膜片及層疊片。

背景技術

液晶顯示器、有機EL顯示器或太陽能電池等設備通常經不起濕氣，使其特性因吸濕而迅速地劣化，所以必須配備具有高防濕性、即防止氧氣或水蒸氣等滲透或浸入的氣體遮斷性的組件。

例如，在太陽能電池的例子中，在與太陽能電池模塊的受光面的相反一側的背面設置有背板。該背板代表性的有在基材上包含具有高防濕性的氣體遮斷性材料和保護它們的部件等的背板。

作為這種構成太陽能電池模塊的背板，例如公開有通過高強度的耐熱性、耐候性樹脂夾層防濕性金屬箔，另外在其一方設置玻璃質蒸鍍皮膜而成的太陽能電池模塊的背面保護用片材料(例如參考專利文獻1)。在該片材料中，使用鋁箔、鍍鋅鐵箔、鍍錫鐵箔等金屬箔作為氣體遮斷性材料。

此外，公開有將層疊高防濕膜和高耐候膜并使其一體化而成的太陽能電池蓋板材料使用在背面側保護部件中的太陽能電池(例如參考專利文獻2)。在該太陽能電池蓋板材料中的高防濕膜中使用如下膜，即由CVD(化學蒸鍍)、PVD(反應蒸鍍)法等在PET膜等基材膜上形成防濕膜作為氣體遮斷性材料，所述防濕膜由二氧化硅、氧化鋁等無機氧化物的涂膜構成。

并且，公開有具有基材膜和遮斷層，遮斷層為通過空心陰極型離子鍍成膜的無機氮化物薄膜或無機氮化氧化物薄膜的透明遮斷膜(例如參考專利文獻3)。并且，公開有在太陽能電池元件的表面設置阻止水蒸氣、氧氣、分解物或添加劑的1種以上的滲透的阻擋層的太陽能電池模塊(例如參考專利文獻4)。該太陽能電池模塊中使用通過由基于樹脂膜、遮斷性樹脂膜、無機氧化物的蒸鍍膜、硅化合物的水解的縮聚物構成的組合物的涂膜或者包括那些的2種以上的復合膜作為阻擋層。

并且，公開有具備由呈無機氧化物層的塑料膜或塑料復合材構成的遮斷層的光伏模塊(例如參考專利文獻5)。在該無機氧化物層中，氧化鋁或氧化硅作為其涂層材料使用。并且，公開有由層疊體構成的太陽能電池用背面保護片，所述層疊體為在耐熱、耐候性塑料膜上設置無機氧化物薄膜層并在該薄膜層面上層疊由相同樹脂構成的其他耐熱、耐候性塑料膜的層疊體(例如參考專利文獻6)。在該太陽能電池用背面保護片中使用由氧化硅或氧化鋁中的任一個形成的薄膜層作為無機氧化物薄膜層。

并且，公開有在具有透明性的基材膜上依次層疊摻雜3價以上的金屬或半導體而成的具有紫外線屏蔽特性的氧化鋅層和氣體遮斷性優異的金屬氧化物層而成的層疊體(例如參考專利文獻7)。作為該層疊體的金屬氧化物層，使用氧化硅、氧化鋁或氧化鎂。

并且，公開有在高分子膜基材的至少單面通過氣相沉積法成膜由金屬或金屬氧化物構成的氣體遮斷層并在該氣體遮斷層上形成含有超微顆粒的樹脂層的具有防紫外線性的透明性氣體遮斷復合膜材料(例如參考專利文獻8)。作為該透明性氣體遮斷復合膜材料的氣體遮斷層，使用由鋁構成的單層結構或多層機構或者由氧化鋁、氧化硅及氧化鎂的至少1種構成的單層結構或多層結構。

專利文獻1：日本實用新型公告平2-44995號公報(實用新型登錄權利要求及5欄的第41～44行)

專利文獻2：日本專利公開2000-174296號公報(權利要求1、權利要求7及[0019]段)

專利文獻3：日本專利公開2000-15737號公報(權利要求1)

專利文獻4：日本專利公開2001-217441號公報(權利要求1、3)

專利文獻5：日本專利公表2002-520820號公報(權利要求1及[0019]段)

專利文獻6：日本專利公開2002-134771號公報(權利要求1、2)

專利文獻7：日本專利公開平7-256813號公報(權利要求1、3及[0015]～[0016]段)

專利文獻8：日本專利公開2000-6305號公報(權利要求1、7、8及[0020]段)

然而，上述專利文獻1所示的背面保護用片材料使用鋁箔等金屬箔作為氣體遮斷性材料，因此若將該片材料應用于太陽能電池模塊的背板上，則存在耐電壓性下降、電流泄漏之虞。