[發明專利]用于多段稀釋機構的臨界節流孔型定流量器的特性測定方法

有效

• 申請號: 201210007970.5
• 申請日: 2012-01-11
• 公開（公告）號: CN102589959A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 大槻喜則;筱原政良;花田和郎
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場制作所
• 主分類號: G01N1/38
• 分類號: G01N1/38
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 楊暄

1.一種定流量器特性測定方法，其特征在于，其作為臨界節流孔型定流量器的特性測定方法，適用于以下構成的稀釋機構：所述稀釋機構串聯連接有多個稀釋單元，所述稀釋單元通過在連接導入輸入氣體的輸入端和輸出端的主流路的途中設有合流點、并將設有流量控制單元的稀釋用氣體流路連接于該合流點，將達到預先確定的稀釋率的規定流量的稀釋用氣體導入所述主流路，而且，所述稀釋單元的一部分或全部設有位于主流路途中的分歧點，該分歧點連接設有臨界節流孔型定流量器的導出流路，以將一定流量的氣體從所述主流路導出，

對于一個稀釋單元的導出流路，使得來自該稀釋單元中稀釋用氣體流路的稀釋用氣體和來自一個以上的其他的稀釋單元中的來自稀釋用氣體流路的稀釋用氣體的合計流量與所述一定流量相等，且使得來自該稀釋單元的稀釋用氣體的流量與所述規定流量相等，

基于此時的該導出流路中的臨界節流孔型定流量器的至少上游側壓力，測定該臨界節流孔型定流量器的流量特性。

2.一種定流量器特性測定方法，其特征在于，其作為臨界節流孔型定流量器的特性測定方法，適用于以下構成的稀釋機構：所述稀釋機構串聯連接有多個稀釋單元，所述稀釋單元通過在連接導入輸入氣體的輸入端和輸出端的主流路的途中設有合流點、并將設有流量控制單元的稀釋用氣體流路連接于該合流點，將達到預先確定的稀釋率的規定流量的稀釋用氣體導入所述主流路，而且，所述稀釋單元的一部分或全部設有位于主流路途中的分歧點，該分歧點連接設有臨界節流孔型定流量器的導出流路，以將一定流量的氣體從所述主流路導出，

對于一個稀釋單元的導出流路，使得來自該稀釋單元中稀釋用氣體流路的稀釋用氣體和來自一個以上的其他的稀釋單元中的稀釋用氣體流路的稀釋用氣體的合計流量與所述一定流量相等，且使得根據來自該稀釋單元的稀釋用氣體流量確定的來自所述其他的稀釋單元的稀釋用氣體的流量的稀釋率與所述預先確定的稀釋率相等，

基于此時的該導出流路中的臨界節流孔型定流量器的至少上游側壓力，測定該臨界節流孔型定流量器的流量特性。

3.如權利要求1所述的定流量器特性測定方法，其特征在于，所述其他的稀釋單元為與所述一個稀釋單元相鄰的上游或下游的稀釋單元。

4.如權利要求2所述的定流量器特性測定方法，其特征在于，所述其他的稀釋單元為與所述一個稀釋單元相鄰的上游或下游的稀釋單元。

5.一種稀釋機構，其特征在于，其串聯連接有多個稀釋單元，所述稀釋單元通過在連接導入輸入氣體的輸入端和輸出端的主流路的途中設有合流點、并將設有流量控制單元的稀釋用氣體流路連接于該合流點，將達到預先確定的稀釋率的規定流量的稀釋用氣體導入所述主流路，而且，所述稀釋單元的一部分或全部設有位于主流路途中的分歧點，該分歧點連接設有臨界節流孔型定流量器的導出流路，以將一定流量的氣體從所述主流路導出，

該稀釋機構構成為對于一個稀釋單元的導出流路，其中僅流過來自該稀釋單元的稀釋用氣體流路的稀釋用氣體和來自一個以上的其他的稀釋單元的稀釋用氣體流路的稀釋用氣體；

該稀釋機構包括信息處理裝置，該信息處理裝置控制所述流量控制單元，以使此時的各稀釋用氣體的合計流量等于所述一定流量、且使來自該稀釋單元的稀釋用氣體的流量等于所述規定流量，并且該信息處理裝置基于該導出流路中的臨界節流孔型定流量器的至少上游側壓力，測定該臨界節流孔型定流量器的流量特性。

6.一種稀釋機構，其特征在于，串聯連接有多個稀釋單元，所述稀釋單元通過在連接導入輸入氣體的輸入端和輸出端的主流路的途中設有合流點、并將設有流量控制單元的稀釋用氣體流路連接于該合流點，將達到預先確定的稀釋率的規定流量的稀釋用氣體導入所述主流路，而且，所述稀釋單元的一部分或全部設有位于主流路途中的分歧點，該分歧點連接設有臨界節流孔型定流量器的導出流路，以將一定流量的氣體從所述主流路導出，

該稀釋機構構成為對于一個稀釋單元的導出流路，其中僅流過來自該稀釋單元的稀釋用氣體流路的稀釋用氣體和來自一個以上的其他的稀釋單元的稀釋用氣體流路的稀釋用氣體；

該稀釋機構包括信息處理裝置，該信息處理裝置控制所述流量控制單元以使此時的各稀釋用氣體的合計流量等于所述一定流量、且使根據來自該稀釋單元的稀釋用氣體流量確定的來自所述其他的稀釋單元的稀釋用氣體的流量的稀釋率等于所述預先確定的稀釋率，并且該信息處理裝置基于該導出流路中的臨界節流孔型定流量器的至少上游側壓力，測定該臨界節流孔型定流量器的流量特性。