[發明專利]基于無回波反饋延遲結構的白光干涉方法及其實現系統

無效

• 申請號: 201210007266.X
• 申請日: 2012-01-11
• 公開（公告）號: CN102565949A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 洪廣偉;肖倩;賈波;林鵬
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: G02B6/27
• 分類號: G02B6/27;G02B6/28
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200
• 代理人: 陸飛;盛志范

1.一種基于無回波反饋延遲結構的白光干涉方法，其特征在于使用光纖偏振分束器構造無回波反饋延遲線結構，在共路干涉中，形成正、反兩束相干光束，來自于反饋元件的非相干回波由于偏振態垂直而無法經過光纖偏振分束器達到探測器而得到抑制，從而提高干涉條紋的對比度。

2.根據權利要求1所述的基于無回波反饋延遲結構的白光干涉方法，其特征在于所述的無回波反饋延遲線結構，包括光纖法拉第旋轉反射鏡（7），延遲光纖（14），偏振分束器（6），A，B，C分別為偏振分束器（6）的端口；設偏振分束器（6）的入射端為C，而輸出的兩偏振光為x偏振方向,y偏振方向?,將延遲光纖（14）一端接入C端，另外一端90°連接法拉第旋轉反射鏡（7）；??

或者所述的無回波反饋延遲線結構，包括光纖法拉第旋轉反射鏡（15（旋轉45°），平面反射鏡（16），延遲光纖（14），偏振分束器（6），A，B，C分別為偏振分束器（6）的端口；光纖法拉第旋轉反射鏡（15）設置在延遲光纖（14）和平面反射鏡（16）之間；

或者所述的無回波反饋延遲線結構，包括光纖法拉第旋轉反射鏡15（旋轉45°），平面反射鏡（16），延遲光纖（14），偏振分束器（6），A，B，C分別為偏振分束器（6）的端口；法拉第旋轉反射鏡（15）設置在延遲光纖（14）和偏振分束器（6）的入射端C之間。

3.一種基于權利要求1或2所述白光干涉方法的實現系統，其特征在于包括：光源（1，第一光電探測器（2），第二光電探測器（3），第一光纖耦合器（4），第二光纖耦合器（5），準直器（8），待測自由面（9），無回波反饋延遲線結構（20），A1，B1分別為其輸入端口；第一光纖耦合器（4）有兩個端口10、11，第二光纖耦合器（5）有兩個端口12、13；

該實現系統的光路是：光源（1）發出的光經過第一光纖耦合器（4）分光后，端口10的光從端口12經過第二光纖耦合器（5）分光到達準直器（8），入射到被測靶面（9），經過被測靶面（9）反射后，被準直器（8）接收，光波重新經過第二光纖耦合器（5）分光后，由端口13的光到達偏振分束器（6），分光經過偏振分束器（6）經過延時（14），反饋裝置反射，重新耦合到偏振分束器（6）中，分光后到達端口11，形成順時針方向的光，光的路線依次經過：光源（1）、第一光纖耦合器（4）、端口10、端口12、第二光纖耦合器（5）、準直器（8）、被測靶面（9）、準直器（8）、第二光纖耦合器（5）、端口13、偏振分束器（6）、延遲光纖（14）、反饋裝置、延遲光纖(14)、偏振分束器（6）、端口11、第一光纖耦合器（4）；

另一路端口11的光經過偏振分束器（6）分光，經過延時光纖（14），被反饋裝置反射，重新耦合偏振分束器（6）分光，到達第二光纖耦合器（5）的端口13，分光后經過準直器（8），入射到被測靶面（9），反射，被準直器（8）接收，光波重新經過第二光纖耦合器（5）分光后，端口12的光到達第一光纖耦合器（4）的端口10，形成逆時針方向的光，光的路線為：光源（1）、第一光纖耦合器（4）、端口11、偏振分束器（6）、延時光纖（14）、反饋裝置、延時光纖（14）、偏振分束器（6）、端口13第二光纖耦合器（5）、準直器（8）、被測靶面（9）、準直器（8）、第二光纖耦合器（5）、端口12、端口10、第一光纖耦合器（4）；兩束光在第一光纖耦合器（4）形成干涉，輸出干涉信號。

4.根據權利要求3所述的系統，其特征在于所述的反饋裝置為法拉第旋轉反射鏡（7），或者光纖法拉第45°旋轉鏡（15）加平面反射鏡（16）的結構。