[發明專利]加速度傳感器

有效

• 申請號: 201210007073.4
• 申請日: 2012-01-11
• 公開（公告）號: CN102707090A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 張睿;王琳琳
• 申請（專利權）人: 瑞聲聲學科技(深圳)有限公司;瑞聲科技(新加坡)有限公司
• 主分類號: G01P15/18
• 分類號: G01P15/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種加速度傳感器，其特征在于：所述加速度傳感器包括位于中央可扭轉的折疊彈簧、位于折疊彈簧兩側的檢測單元，所述檢測單元包括第一基底和第二基底、位于第一基底和第二基底上方并分別與折疊彈簧兩側相連的第一質量塊和第二質量塊、分別自第一質量塊和第二質量塊向遠離折疊彈簧的一側延伸而出的第一動電極和第二動電極、分別與第一動電極和第二動電極構成梳齒結構形成電容效應的第一定電極和第二定電極、及支撐固定第一定電極和第二定電極的第一固定端和第二固定端，所述第一質量塊和第二質量塊上靠近折疊彈簧的位置處分別設有第一梁式彈簧和第二梁式彈簧。

2.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于：所述第一質量塊和第二質量塊的大小、形狀均相等。

3.根據權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于：第一梁式彈簧和第二梁式彈簧關于折疊彈簧對稱。

4.根據權利要求3所述的加速度傳感器，其特征在于：兩個動電極的長度相同，且兩個定電極的長度相同。

5.根據權利要求1至4任意一項所述的加速度傳感器，其特征在于：所述第一梁式彈簧和第二梁式彈簧的兩端分別設有夾持質量塊的固定塊。