[發明專利]一種微混合和微反應裝置

有效

• 申請號: 201210006912.0
• 申請日: 2012-01-11
• 公開（公告）號: CN102527280A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 劉筆鋒;徐友志;馮曉均;李穎
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: B01F13/00
• 分類號: B01F13/00;B01J19/00;B01L3/00
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 李佑宏

1.一種微混合和微反應裝置，用于實現溶液的快速微混合和微反應，其包括：

微流控芯片，由刻有微通道的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄層與玻璃片鍵合而成；和

芯片夾，用于夾持所述微流控芯片；

其特征在于，所述微通道包括兩條溶液入口通道和一條溶液出口通道，每條通道由一寬通道和一窄通道貫通連接形成，且三個窄通道均與一混合腔(4)貫通連接，從而使三條通道相互連通。

2.根據權利要求1所述的微混合和微反應裝置，其特征在于，兩溶液入口通道中心軸線呈小于180度夾角，所述溶液出口通道中心軸線位于該夾角角平分線上，所述兩溶液入口通道關于該溶液出口通道軸對稱。

3.根據權利要求1或2所述的微混合和微反應裝置，其特征在于，寬通道的寬度大于窄通道的寬度。

4.根據權利要求1-3之一所述的微混合和微反應裝置，其特征在于，所述混合腔(4)外壁面與入口通道外壁面連接處相切。

5.根據權利要求1-4之一所述的微混合和微反應裝置，其特征在于，所述三條通道的分別與儲液池連通。

6.根據權利要求1-5之一所述的微混合和微反應裝置，其特征在于，所述芯片夾包括蓋片與底片，所述微流控芯片置于所述蓋片和底片之間，通過將蓋片和底片連接鎖緊實現對所述微流控芯片的夾緊。

7.根據權利要求6所述的微混合和微反應裝置，其特征在于，所述蓋片上設置有小孔，分別與所述微流控芯片的入口儲液池和出口儲液池相通。

8.一種微流控芯片的制作工藝，具體包括如下步驟：

(1)制作具有權利要求1-7之一所述的微通道結構的芯片掩模；

(2)基片清洗并作勻膠處理；

(3)利用紫外光光刻進行完全曝光，將掩模上的圖形轉移到勻膠后的基片上；

(4)對勻膠后的基片進行前烘和后烘；

(5)對后烘后的基片進行顯影和定影；

(6)將定影后的基片置于真空烘箱中進行堅膜；

(7)首先將PDMS低聚體和固化劑按比例攪拌混勻，倒在基片上進行烘烤，固化PDMS；

(8)將固化后的PDMS和玻璃蓋片平進行鍵合處理，即可得到具有微通道的微流控芯片。

9.一種微混合和微反應裝置，包括利用權利要求8所述的制備工藝制備的微流控芯片。