[發(fā)明專利]處理和/或分析樣品的粒子束裝置和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210005767.4
• 申請日: 2012-01-10
• 公開（公告）號: CN102592933B
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A.謝爾特爾
• 申請（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01J37/30
• 分類號: H01J37/30;H01J37/304;H01J37/20;H01J37/26
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所11105
• 代理人: 邱軍

1.一種粒子束裝置(1)，包括：

至少一個第一粒子束柱(2)，其具有第一束軸(21)并且被設(shè)計用于產(chǎn)生第一粒子束，

至少一個第二粒子束柱(3)，其具有第二束軸(22)并且設(shè)計用于產(chǎn)生第二粒子束，其中所述第一粒子束柱(2)和所述第二粒子束柱(3)被相對于彼此布置，使得所述第一束軸(21)和所述第二束軸(22)形成與0°和180°不同的第一角度(W1)，

至少一個樣品載具(24)，其能夠關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸(25)旋轉(zhuǎn)，其中所述旋轉(zhuǎn)軸(25)與所述第一束軸(21)形成第二角度(W2)，其中所述旋轉(zhuǎn)軸(25)與所述第二束軸(22)形成第三角度(W3)，其中所述第二角度(W2)和所述第三角度(W3)都與0°和180°不同，并且其中能夠在所述樣品載具(24)上布置具有要被處理和/或分析的樣品表面(32)的至少一個樣品(8)，

其中，

所述樣品載具(24)布置在第一位置，

所述樣品載具(24)能夠從所述第一位置旋轉(zhuǎn)到第二位置，在所述第二位置，樣品表面(32)被取向?yàn)榇怪庇谒龅诙S(22)，其中在所述第一位置，所述樣品表面(32)被取向?yàn)槠叫杏谒龅谝皇S(21)，

所述第一束軸(21)和所述第二束軸(22)在重合點(diǎn)(23)處相交，并且其中

在所述第一位置，所述重合點(diǎn)(23)與所述第一粒子束柱(2)之間的距離大于所述樣品表面(32)與所述第一粒子束柱(2)之間的距離，和/或其中在所述第二位置，所述重合點(diǎn)(23)與所述第二粒子束柱(3)之間的距離大于所述樣品表面(32)與所述第二粒子束柱(3)之間的距離，并且

所述第一束軸(21)、第二束軸(22)和所述旋轉(zhuǎn)軸(25)位于同一平面內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粒子束裝置(1)，其中

在所述樣品載具(24)上布置具有要被處理和/或分析的樣品表面(32)的至少一個樣品(8)，

所述樣品表面(32)具有第一表面法線(31)，并且其中

所述第一表面法線(31)與所述旋轉(zhuǎn)軸(25)形成第四角度(W4)，所述第四角度(W4)與0°和180°不同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粒子束裝置(1)，其中所述樣品載具(24)能夠從所述第二位置旋轉(zhuǎn)到所述第一位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粒子束裝置(1)，其中在所述樣品載具(24)上距離所述樣品載具(24)的旋轉(zhuǎn)軸(25)一可預(yù)定的距離處布置所述樣品(8)，以限定所述樣品表面(32)與所述第一粒子束柱(2)之間的第一工作距離，并限定所述樣品表面(32)與所述第二粒子束柱(3)之間的第二工作距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粒子束裝置(1)，其中所述粒子束裝置(1)具有用于沿著所述旋轉(zhuǎn)軸(25)移動所述樣品載具(24)的移動裝置(27)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的粒子束裝置(1)，其中所述粒子束裝置(1)具有至少一個控制裝置(26)，用于控制所述移動裝置(27)和/或用于控制所述樣品載具(24)關(guān)于所述旋轉(zhuǎn)軸(25)的旋轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粒子束裝置(1)，其中

所述樣品載具(24)具有至少一個樣品支撐件(29)，

所述樣品支撐件(29)具有將所述樣品(8)布置在其上的接收表面(30)，并且其中

所述接收表面(30)具有第二表面法線(31’)，其中所述第二表面法線(31’)與所述旋轉(zhuǎn)軸(25)形成第五角度，所述第五角度與0°和180°不同。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粒子束裝置(1)，其中

所述樣品載具(24)具有至少一個樣品支撐件(29)，

所述樣品支撐件(29)具有將所述樣品(8)布置在其上的接收表面(30)，并且其中

所述接收表面(30)具有第二表面法線(31’)，其中所述第二表面法線(31’)與所述旋轉(zhuǎn)軸(25)形成第五角度，所述第五角度與0°和180°不同。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的粒子束裝置(1)，其中所述第一表面法線(31)和所述第二表面法線(31’)被取向?yàn)楸舜似叫谢蛘呦嗤?/p>

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粒子束裝置(1)，其中

所述第一角度(W1)在15°到80°的范圍中。