[發明專利]一種基于硅基槽式波導的多模干涉型生物化學傳感器有效
| 申請號： | 201210005490.5 | 申請日： | 2012-01-10 |
| 公開（公告）號： | CN102565000A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發明（設計）人： | 肖金標 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | G01N21/41 | 分類號： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 硅基槽式 波導 干涉 生物化學 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于硅基槽式波導的多模干涉型生物化學傳感器，其特征在于：該傳感器包括用于輸入光信號的輸入波導（1），兩個輸出波導，即第一輸出波導（3），第二輸出波導（4），多模干涉波導（5），輸入波導（1）與第一輸出波導（3），第二輸出波導（4）之間通過多模干涉波導（5）連接；其中，
多模干涉波導（5）為錐形；
單波長光信號從輸入波導（1）輸入，在多模干涉波導（5）區域發生多模干涉，基于多模干涉的自成像效應，輸入光經過自鏡像長度再生，選自鏡像長度作為該器件的長度。
2.根據權利要求1所述的基于硅基槽式波導的多模干涉器件，其特征在于：所述傳感器的多模波導（5）為二次錐形曲線結構，并且在多模波導（5）區域設有開槽（2），用于填充檢測液體（8）。
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