[發明專利]一種馬赫-曾德爾硅光調制器

有效

• 申請號: 201210005489.2
• 申請日: 2012-01-10
• 公開（公告）號: CN102636887A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發明（設計）人: 肖金標
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G02F1/025
• 分類號: G02F1/025
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種馬赫-曾德爾硅光調制器,?其特征在于：該硅光調制器包括光輸入通道（1），與光輸入通道（1）相連的多模干涉光分路器（3）、多模干涉光耦合器（4）、與多模干涉光耦合器（4）相連的光輸出通道（2）、脊光波導（8），多模干涉光分路器（3）與多模干涉光耦合器（4）通過脊光波導（8）相連；

該硅光調制器還包括分別位于脊光波導（8）兩側的陽極電極（5）和陰極電極（6），以及位于脊光波導（8）中的PN結相移臂（7）。

2.?根據權利要求1所述的馬赫-曾德爾硅光調制器，其特征在于：?PN結相移臂（7）為“田”型，即由4個PN結組成，包括第一P摻雜區（9）與第一N摻雜區（10）形成的PN結、第二P摻雜區（14）與第二N摻雜區（13）形成的PN結、第一P摻雜區（9）與第二N摻雜區（13）形成的PN結、第二P摻雜區（14）和第一N摻雜區（10）形成的PN結；

“田”型PN結相移臂（7）中的4個PN結被本征硅層（17）分離；第一重P摻雜區（11）和第二重P摻雜區（16）分別引出電極短接作為陰極（6）；第一重N摻雜區（12）和第二重N摻雜區（15）分別引出電極短接作為陽極（5）。