[發(fā)明專利]氣浮塊等高測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210005086.8
• 申請(qǐng)日: 2012-01-09
• 公開（公告）號(hào): CN103197504A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李莉;趙正龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G01B5/02
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于它包括水平布置的平臺(tái)(4)以及裝在該平臺(tái)下面的且高度可調(diào)的地腳(2)，所述平臺(tái)(4)上面設(shè)置有：

縱向布置的平行規(guī)(1)；

位于所述平行規(guī)(1)側(cè)部的測(cè)量基準(zhǔn)塊(9)；

水平布置在所述平行規(guī)(1)右側(cè)的方尺(3)，該方尺(3)與平行規(guī)(1)緊貼在一起且相互垂直而構(gòu)成一精度角尺；

用于保證所述精度角尺的垂直度不發(fā)生改變的兩組止推機(jī)構(gòu)(5)，其中一組緊貼平行規(guī)(1)左側(cè)布置，另一組緊貼方尺(3)后側(cè)布置；

以及橫向布置在所述平行規(guī)(1)右側(cè)的并可左右移動(dòng)的標(biāo)準(zhǔn)推柱(6)，該標(biāo)準(zhǔn)推柱的后側(cè)與方尺(3)側(cè)部緊貼在一起，該標(biāo)準(zhǔn)推柱的前側(cè)布置有用于將其緊壓在方尺(3)側(cè)部的壓緊機(jī)構(gòu)(8)，該標(biāo)準(zhǔn)推柱的右側(cè)布置有可推動(dòng)該標(biāo)準(zhǔn)推柱向左移動(dòng)的推力機(jī)構(gòu)(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述的每組止推機(jī)構(gòu)(5)均包括并列固定在平臺(tái)(1)上的至少兩塊止推固定板(51)，每塊止推固定板上均裝有一塊位置可調(diào)的止推塊(52)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述止推固定板(51)由內(nèi)六角螺釘固定平臺(tái)(1)上，所述止推塊(52)由內(nèi)六角角螺釘安裝在止推固定板(51)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述壓緊機(jī)構(gòu)(8)包括并列固定在平臺(tái)(4)上的至少兩個(gè)墊塊(81)，每個(gè)墊塊上均裝有一滾輪柱塞(82)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述墊塊(81)由內(nèi)六角螺釘固定在平臺(tái)(4)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述推力機(jī)構(gòu)(7)包括固定在平臺(tái)(4)上的調(diào)節(jié)座(71)以及與該調(diào)節(jié)座螺紋連接的緊定螺釘(72)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述的調(diào)節(jié)座(71)由內(nèi)六角螺釘固定在平臺(tái)(4)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述標(biāo)準(zhǔn)推柱(6)上固定有與所述緊定螺釘(72)相抵觸的推柱連接板(10)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述推柱連接板(10)與緊定螺釘(72)的抵觸面為傾斜面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述傾斜面的傾斜角度β為3～5度。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一權(quán)利要求所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述的平臺(tái)(4)、平行規(guī)(1)以及方尺(3)均為大理石材質(zhì)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一權(quán)利要求所述的氣浮塊等高測(cè)試裝置，其特征在于：所述平行規(guī)(1)和方尺(3)均通過(guò)內(nèi)六角螺釘安裝在平臺(tái)(4)上面。