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[發明專利]一種提高CO2激光器倍頻效率的準相位匹配晶體制備方法有效

專利信息
申請號: 201210004947.0 申請日: 2012-01-09
公開(公告)號: CN102570276A 公開(公告)日: 2012-07-11
發明(設計)人: 李強;羅旭;雷訇;惠勇凌;姜夢華 申請(專利權)人: 北京工業大學
主分類號: H01S3/109 分類號: H01S3/109;G02F1/37
代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203 代理人: 劉萍
地址: 100124 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 提高 co sub 激光器 倍頻 效率 相位 匹配 晶體 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種提高CO2激光器倍頻效率的準相位匹配晶體制備方法,其特征在于:用硒化鋅單晶作為準相位匹配倍頻晶體,將硒化鋅單晶垂直<110>方向切割成多個規格相同的厚度為100-120μm的薄片,相鄰晶片極化方向相差180°,晶片的表面拋光后經過氫離子束轟擊處理,通過鍵合技術將相鄰硒化鋅晶片牢固結合,使多層晶片形成一體。

2.根據權利要求1所述的提高CO2激光器倍頻效率的準相位匹配晶體制備方法,其特征在于:使用氫離子束清洗硒化鋅表面,清洗過程在真空度小于5*10-5Pa的真空中進行,轟擊時間為20分鐘;鍵合過程在超高真空中進行,真空度小于10-7Pa,晶片整體均勻加溫到200℃,晶片均勻施加10kg/cm2的壓力,保持60分鐘,最后退火到室溫。

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