[發(fā)明專利]多晶硅材料殘余應(yīng)力在線測試結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210003497.3
• 申請日: 2012-01-06
• 公開（公告）號: CN102565143A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李偉華;張衛(wèi)青;蔣明霞;周再發(fā);劉海韻
• 申請（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號: G01N27/04
• 分類號: G01N27/04;G01L5/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種多晶硅材料殘余應(yīng)力在線測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括三個多晶硅偏轉(zhuǎn)指針，三個多晶硅偏轉(zhuǎn)指針分別包括多晶硅驅(qū)動梁(101、103、105)、多晶硅指針(102、104、106)和錨區(qū)；三個多晶硅偏轉(zhuǎn)指針呈“品”字型放置，指針(102、104、106)都指向中心；左下部多晶硅偏轉(zhuǎn)指針和右下部多晶硅偏轉(zhuǎn)指針結(jié)構(gòu)完全相同，以測試結(jié)構(gòu)豎直中心線左右鏡向，上部多晶硅偏轉(zhuǎn)指針位于中心，其指針(102)方向與下部的左右多晶硅偏轉(zhuǎn)指針的指針(104、106)方向相反；整個測試結(jié)構(gòu)制作在絕緣襯底(117)上，在結(jié)構(gòu)被釋放后，驅(qū)動梁(101、103、105)和指針(102、104、106)均處于懸浮狀態(tài)，以便于釋放殘余應(yīng)力并自由伸縮與偏轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅材料殘余應(yīng)力在線測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述左下部多晶硅偏轉(zhuǎn)指針中，驅(qū)動梁(103)一端的錨區(qū)(109)和指針(104)一端的錨區(qū)(110)上分別制作有金屬電極(113、114)，并且金屬電極(114)一直延伸到驅(qū)動梁(103)上；所述右下部多晶硅偏轉(zhuǎn)指針中，驅(qū)動梁(105)一端的錨區(qū)(112)和指針(106)一端的錨區(qū)(111)上分別制作有金屬電極(116、115)，并且金屬電極(115)一直延伸到驅(qū)動梁(105)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅材料殘余應(yīng)力在線測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述三個多晶硅偏轉(zhuǎn)指針的驅(qū)動梁(101、103、105)長度相等。